Світличний Віталій Анатольевич
Спосіб визначення товщини тонких неферомагнітних плівок за допомогою резонансного вихрострумового перетворювача
Номер патенту: 98983
Опубліковано: 12.05.2015
Автори: Міняйло Олександр Дмитриевич, Хорошайло Юрій Євгенійович, Світличний Віталій Анатольевич
МПК: G01N 27/90, G01B 7/06
Мітки: допомогою, перетворювача, вихрострумового, тонких, неферомагнітних, плівок, товщини, спосіб, визначення, резонансного
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини тонких неферомагнітних плівок (ТНП) за допомогою резонансного вихрострумового перетворювача, який полягає в тому, що при роботі вихрострумовий перетворювач (ВСП) встановлюють на поверхню контрольованої ТНП, магнітний потік, що виникає при цьому, локалізується і викликає появу вихрових струмів на поверхні ТНП, вихрові струми індукують зустрічно спрямований власний магнітний потік, що зчіплюється із зовнішнім магнітним...
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
Номер патенту: 93969
Опубліковано: 27.10.2014
Автори: Хорошайло Юрій Євгенійович, Лямін Євгеній Олександрович, Міняйло Олександр Дмитрович, Світличний Віталій Анатольевич
МПК: G01N 27/90, G01N 22/00
Мітки: тонких, контролю, плівок, двопараметровий, спосіб, якості
Формула / Реферат:
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок, який включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону, який відрізняється тим, що визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір...
Резонансний вихрострумовий спосіб контролю досконалості структури тонких неферомагнітних плівок
Номер патенту: 83392
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Світличний Віталій Анатольевич, Хорошайло Юрій Євгенійович
МПК: G01N 27/90
Мітки: тонких, контролю, досконалості, структури, неферомагнітних, вихрострумовий, резонансний, плівок, спосіб
Формула / Реферат:
Резонансний вихрострумовий спосіб контролю досконалості структури тонких неферомагнітних плівок, що включає збудження в об'єкті контролю вихрових струмів змінним електромагнітним полем, зразок тонких неферомагнітних плівок розміщують у високочастотне поле між плоскими котушками вихрострумового перетворювача (ВСП) екранного типу, який відрізняється тим, що для виявлення неоднорідності структури додатково зразок тонких неферомагнітних плівок...