Маджид Абдул-Джалил Хамад
Пристрій для обертання стрижневих виробів у вакуумній камері іонно-плазмової установки
Номер патенту: 48187
Опубліковано: 10.03.2010
Автори: Маджид Абдул-Джалил Хамад, Михайлова Олена Олександрівна, Михайлов Олександр Миколайович
МПК: C23C 14/50
Мітки: стрижневих, виробів, обертання, пристрій, установки, іонно-плазмової, камери, вакуумний
Формула / Реферат:
Пристрій для обертання стрижневих виробів у вакуумній камері іонно-плазмової установки, що має обертовий вал, на якому закріплена планшайба, виконана у вигляді водила і встановлена співвісно центральному зубчастому колесу, нерухомо закріпленому до основи вакуумної камери, при цьому по окружності периферії планшайби з можливістю обертання змонтовані сателіти, які мають отвори для прилаштування стрижневих виробів, забезпечені зубчастими...