Мандзюк Оксана Миколаївна
Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 73081
Опубліковано: 10.09.2012
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович, Мандзюк Оксана Миколаївна
МПК: G01N 21/00
Мітки: травлення, процесу, визначення, пристрій, плазмового, закінчення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, два біполярних транзистори, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...
Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 72328
Опубліковано: 10.08.2012
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, Мандзюк Оксана Миколаївна
МПК: G01N 21/00
Мітки: пристрій, плазмового, визначення, процесу, травлення, закінчення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, три біполярних транзистора, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...
Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 58789
Опубліковано: 26.04.2011
Автори: Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна, Кравченко Сергій Юрійович
МПК: G01N 21/00
Мітки: пристрій, закінчення, визначення, травлення, плазмового, процесу
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, біполярний транзистор, ємність і джерело постійної напруги, який відрізняється тим, що...