Одарич Володимир Андрійович
Еліпсометр
Номер патенту: 41610
Опубліковано: 25.05.2009
Автори: Кепич Тіберій Юрійович, Руденко Ольга Василівна, Одарич Володимир Андрійович, Макара Володимир Арсенійович, Преображенська Тамара Дмитрівна
МПК: G01J 4/00, G01N 21/21
Мітки: еліпсометр
Формула / Реферат:
1. Еліпсометр, який містить джерело світлового пучка, поляризатор, аналізатор і фотоприймальний пристрій, який відрізняється тим, що додатково містить поворотний пристрій, пристрій для повороту поляризатора навколо умовної лінії напрямку світлового пучка, пристрій для вимірювання азимуту поляризатора, пристрій для повороту аналізатора навколо умовної лінії напрямку світлового пучка та пристрій для вимірювання азимуту аналізатора, поворотний...