Осипов Леонід Семенович

Спосіб вакуумно-дугового нанесення покриттів та пристрій для його здійснення

Завантаження...

Номер патенту: 10775

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Осипов Леонід Семенович, Семенюк Валерій Федорович

МПК: C23C 14/00

Мітки: вакуумно-дугового, нанесення, покриттів, здійснення, пристрій, спосіб

Формула / Реферат:

1. Способ вакуумно-дугового нанесення по­крытий, включающий испарение электрически проводящих материалов при наличии аксиально-симметричного катода, воздействие на торцевую рабочую поверхность катода параллельного ей по­стоянного аксиально-симметричного магнитного поля, отличающийся тем, что на торцевую рабо­чую поверхность катода дополнительно воздейст­вуют ионным потоком с энергией, превышающей катодное падение потенциала, причем катод...