Осипов Леонід Семенович
Спосіб вакуумно-дугового нанесення покриттів та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 10775
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Осипов Леонід Семенович, Семенюк Валерій Федорович
МПК: C23C 14/00
Мітки: вакуумно-дугового, нанесення, покриттів, здійснення, пристрій, спосіб
Формула / Реферат:
1. Способ вакуумно-дугового нанесення покрытий, включающий испарение электрически проводящих материалов при наличии аксиально-симметричного катода, воздействие на торцевую рабочую поверхность катода параллельного ей постоянного аксиально-симметричного магнитного поля, отличающийся тем, что на торцевую рабочую поверхность катода дополнительно воздействуют ионным потоком с энергией, превышающей катодное падение потенциала, причем катод...