Пірцль Вольфганг
Пристрій і спосіб для осадження ультратонких частинок з газової фази
Номер патенту: 85073
Опубліковано: 25.12.2008
Автори: Зонненшайн Раймунд, Адлер Петер, Пірцль Вольфганг
МПК: C01B 33/029, B01J 19/08
Мітки: фазі, осадження, пристрій, газової, ультратонких, частинок, спосіб
Формула / Реферат:
1. Пристрій для термічного розкладання летючих сполук і осадження частинок, що потім утворюються, який включає щонайменше такі характерні ознаки:посудину (1) під тиском,щонайменше одну реакційну трубку (2), відкритий кінець (2с) якої продовжується у посудину під тиском, а інший кінець якої розташований зовні посудини під тиском і забезпечений засобом подання (3) газу, поздовжня вісь реакційної трубки орієнтована у напрямі сили...