Ребер Штефан
Спосіб одержання сонячного елемента, застосування тетрахлориду кремнію у ньому та тонкоплівковий сонячний елемент одержаний цим способом
Номер патенту: 95942
Опубліковано: 26.09.2011
Автори: Шиллінгер Норберт, Хьоне Ханс-Юрген, Ребер Штефан, Зонненшайн Раймунд, Раулєдер Хартвіг
МПК: H01L 31/052, C23C 16/22, C23C 16/24 ...
Мітки: цим, кремнію, сонячного, тонкоплівковий, тетрахлориду, ньому, сонячний, одержаний, способом, спосіб, застосування, елемента, одержання, елемент
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання сонячного елемента осадженням з парової фази кремнієвої плівки на поверхні субстрату з використанням вихідної речовини на основі кремнію та подальшою обробкою покритого субстрату для формування сонячного елемента, який відрізняється тим, що вказаною вихідною речовиною є тетрахлорид кремнію, а покритий субстрат:- очищають та текстурують,- потім дифундують з парової фази або іншого джерела легуючі добавки при...