Шиллінгер Норберт
Спосіб одержання сонячного елемента, застосування тетрахлориду кремнію у ньому та тонкоплівковий сонячний елемент одержаний цим способом
Номер патенту: 95942
Опубліковано: 26.09.2011
Автори: Хьоне Ханс-Юрген, Шиллінгер Норберт, Ребер Штефан, Зонненшайн Раймунд, Раулєдер Хартвіг
МПК: C23C 16/22, H01L 31/052, C23C 16/24 ...
Мітки: кремнію, тонкоплівковий, одержання, тетрахлориду, ньому, способом, сонячний, сонячного, спосіб, елемента, одержаний, елемент, застосування, цим
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання сонячного елемента осадженням з парової фази кремнієвої плівки на поверхні субстрату з використанням вихідної речовини на основі кремнію та подальшою обробкою покритого субстрату для формування сонячного елемента, який відрізняється тим, що вказаною вихідною речовиною є тетрахлорид кремнію, а покритий субстрат:- очищають та текстурують,- потім дифундують з парової фази або іншого джерела легуючі добавки при...