Решетіло Ганна Павлівна

Номер патенту: 14398

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Решетіло Ганна Павлівна, Сафонов Володимир Олександрович, Таран Галина Олександрівна

МПК: H01L 21/18, H01L 21/02

Мітки: групового, спосіб, виготовлення, мікромініатюрних, тензоперетворювачів

Формула / Реферат:

1. Способ группового изготовления микроми­ниатюрных тензопреобразователей, включаю­щий окисление двух кремниевых пластин, травление первой пластины до получения мемб­ран, формирование диффузионных тензорезисторов и металлической разводки, нанесение слоя алюмоборсиликатного стекла на вторую пластину, соединение пластин слоем стекла при нагревании и разделение пластин на отдельные тензопреобра-зователи, отличающийся тем, что, с целью повы­шения...