Ром Михайло Аронович
Спосіб одержання кристалічної плівки нітриду алюмінію
Номер патенту: 90239
Опубліковано: 12.04.2010
Автори: Калтаєв Халіл Шамсаддин-огли, Сидельникова Наталя Степанівна, Данько Олександр Яковлевич, Ніжанковський Сергій Вікторович, Ром Михайло Аронович
МПК: C30B 25/00, C01F 7/00, C01B 21/072 ...
Мітки: нітриду, спосіб, алюмінію, одержання, кристалічної, плівки
Формула / Реферат:
Спосіб одержання кристалічної плівки нітриду алюмінію шляхом нітридизації сапфіра, що включає відпал в присутності вуглецю сапфірової підкладки орієнтацією (11-20) в середовищі, що містить азот і СО, загальним тиском 1 атм в графітовій печі, який відрізняється тим, що відпал проводять у вказаній атмосфері зі вмістом СО 0,001-0,1 об. % при температурі 1300-1450 °С протягом 2-10 годин.