Савчин Богдан Петрович

Номер патенту: 3214

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Савчин Богдан Петрович, Новосядлий Степан Петрович, Шпакович Роман Степанович, Прокіпчин Василь Степанович

МПК: H01L 21/283

Мітки: вісь, формування, спосіб, металізації

Формула / Реферат:

Способ формирования металлизации БИС, включающий вскрытие контактных окон к элементам, химическую обработку, магнетронное распыление мишени, содержащей алюминий и тугоплавкий металл, формирование с помощью фотолитографии металлизированной разводки и пассивацию окислом, отличающийся тем, что магнетронное распыление проводят из единой мишени, состоящей, по крайней мере, из двух материалов, в качестве одного из которых используют алюминий или...