Шпакович Роман Степанович
Спосіб нанесення захисного шару на кварцеві лодочи
Номер патенту: 11381
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Насипайко Олександр Васильович, Шпакович Роман Степанович, Новосядлий Степан Петрович, Маскович Степан Михайлович
МПК: C30B 35/00, C30B 25/02
Мітки: лодочи, кварцеві, шару, захисного, нанесення, спосіб
Формула / Реферат:
Способ нанесения защитного слоя на кварцевые лодочки осаждением из газовой фазы, содержащей соединение кремния, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дефектности структур, обрабатываемых в лодочках при формировании диэлектрических пленок, и повышения износостойкости лодочек, в качестве защитного слоя осаждают слой поликремния толщиной не менее 0,2 мкм из газовой смеси аргона с моносиланом или дихлорсиланом при 575-625°С и давлении...
Спосіб формування металізації віс
Номер патенту: 3214
Опубліковано: 26.12.1994
Автори: Шпакович Роман Степанович, Савчин Богдан Петрович, Прокіпчин Василь Степанович, Новосядлий Степан Петрович
МПК: H01L 21/283
Мітки: металізації, спосіб, формування, вісь
Формула / Реферат:
Способ формирования металлизации БИС, включающий вскрытие контактных окон к элементам, химическую обработку, магнетронное распыление мишени, содержащей алюминий и тугоплавкий металл, формирование с помощью фотолитографии металлизированной разводки и пассивацию окислом, отличающийся тем, что магнетронное распыление проводят из единой мишени, состоящей, по крайней мере, из двух материалов, в качестве одного из которых используют алюминий или...