Семенюк Ірина Василівна
Спосіб виготовлення плівки напівпровідникового оксидного скла
Номер патенту: 12589
Опубліковано: 28.02.1997
Автори: Новіков Олександр Олександрович, Новікова Лідія Володимирівна, Семенюк Ірина Василівна, Езіков Володимир Іванович
МПК: C03C 17/02
Мітки: виготовлення, напівпровідникового, скла, плівки, спосіб, оксидного
Формула / Реферат:
Способ изготовления пленок полупроводникового оксидного стекла путем напыления на разогретую подложку аэрозольного раствора, содержащего компоненты полупроводникового оксидного стекла, нанесения спиртового раствора йода и облучения лазерным лучом, отличающийся тем, что перед лазерной обработкой подложку с композицией погружают в жидкий азот.