Севрюкова Вікторія Анатоліївна
Спосіб оцінки міжфазної шорсткості багатошарових рентгенівських дзеркал
Номер патенту: 71633
Опубліковано: 25.07.2012
Автори: Зубарєв Євгеній Миколайович, Севрюкова Вікторія Анатоліївна, Першин Юрій Павлович, Кондратенко Валерій Володимирович
МПК: C23C 28/00, G02B 1/10
Мітки: міжфазної, багатошарових, оцінки, дзеркал, рентгенівських, шорсткості, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб оцінки міжфазної шорсткості багатошарових рентгенівських дзеркал, який полягає в малокутовій зйомці кривої відбиття в жорсткому рентгенівському випромінюванні та ідентифікації головних дифракційних максимумів, який відрізняється тим, що вимірюють кутове положення останнього спостережуваного дифракційного максимуму, і міжфазну шорсткість визначають з умови , де σ...
Спосіб виготовлення багатошарових рентгенівських дзеркал
Номер патенту: 57053
Опубліковано: 10.02.2011
Автори: Першин Юрій Павлович, Зубарєв Євгеній Миколайович, Севрюкова Вікторія Анатоліївна, Кондратенко Валерій Володимирович
МПК: C23C 14/35, C23C 28/00, G01N 23/083 ...
Мітки: виготовлення, багатошарових, дзеркал, рентгенівських, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення багатошарових рентгенівських дзеркал, який полягає у вакуумуванні установки, напуску розпиляючого газу до робочого тиску, подачі напруги на мішені, які розпиляються, для підпалу розрядів і почерговому нанесенні шарів двох або більше речовин на підкладку, який відрізняється тим, що при нанесенні шарів робочий тиск і відстань мішень-підкладка вибирають так, щоб їх добуток знаходився в межах від 3 до 20...