Спосіб оцінки міжфазної шорсткості багатошарових рентгенівських дзеркал

Реферат: Спосіб оцінки міжфазної шорсткості багатошарових рентгенівських дзеркал полягає в малокутовій зйомці кривої відбиття в жорсткому рентгенівському випромінюванні та ідентифікації головних дифракційних максимумів. Вимірюють кутове положення останнього спостережуваного дифракційного максимуму, і міжфазну шорсткість визначають з умови    / 4  sin MAX  , де σ - міжфазна шорсткість, λ - довжина хвилі рентгенівського випромінювання,  X - останній спостережуваний дифракційний максимум. UA 71633 U (54) СПОСІБ ОЦІНКИ МІЖФАЗНОЇ ШОРСТКОСТІ БАГАТОШАРОВИХ РЕНТГЕНІВСЬКИХ ДЗЕРКАЛ UA 71633 U UA 71633 U 5 10 15 20 25 30 Корисна модель належить до галузі приладобудування, зокрема до відлагодження технології виготовлення багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД), що працюють в діапазоні довжин хвиль м'якого рентгенівського випромінювання 0,3-70,0 нм. Відомий спосіб оцінки міжфазної (МФ) шорсткості [1], згідно з яким вимірюють шорсткість поверхні виготовленого БРД і за нею роблять висновок про МФ шорсткості БРД. Недоліком методу є невисока точність вимірювання, оскільки, як правило, поверхня БРД окислюється [2] і знайдена шорсткість може істотно відрізнятися від шуканої. Крім того, виміряні значення істотно залежать від поверхневих забруднень і по суті від умов зберігання і поводження з БРД. Відомий інший спосіб оцінки міжфазної шорсткості [3], згідно з яким записують криву відбиття від БРД в рентгенівській області (наприклад, на довжині хвилі λ=0,154 нм), а потім визначають МФ шорсткість шляхом підгонки теоретичної кривої відбиття до 1-ого виміряного дифракційного максимуму. Оскільки точна будова БРД (товщина шарів, наявність і товщина МФ перемішаних прошарків і так далі) як правило заздалегідь невідома, величина шорсткості завищується [4]. Крім того, наростання шорсткості від підкладки до поверхні, характерне для процесу росту БРД, при динамічних ефектах відбиття рентгенівського випромінювання в 1-му максимумі також призводить до завищення визначуваної величини шорсткості, оскільки фактично аналізується лише верхня, найменш гладка частина БРД. Використання повнопрофільної підгонки малокутової дифракційної картини відбиття від БРД значно покращує ситуацію [5]. Проте, не дивлячись на істотне поліпшення достовірності отриманих даних, зберігається неоднозначність у визначенні шорсткості із-за невизначеності будови БРД (товщина шарів, їх густина, склад тощо), яка в цьому випадку також є підгінним параметром. Тому для підвищення достовірності підгонки часто використовують дані електронної просвічувальної мікроскопії поперечних зрізів БРД, що істотно ускладнює процес отримання даних. Крім того, сам процес підгонки вимагає наявності відповідного програмного забезпечення, трудомісткий і забирає багато часу (як правило години), оскільки не є прямим методом визначення параметрів БРД. Задачею корисної моделі є спрощення способу оцінки МФ шорсткості БРД шляхом зниження трудомісткості, заощадження часу і відмови від складних програмних продуктів. Поставлена задача вирішується тим, що у відомому способі оцінки міжфазної шорсткості багатошарових рентгенівських дзеркал, який полягає в малокутовій зйомці кривої відбиття в жорсткому рентгенівському випромінюванні та ідентифікації головних дифракційних максимумів, вимірюють кутове положення останнього спостеріганого дифракційного максимуму, і міжфазну шорсткість визначають з умови    / 4  sin MAX  , де σ - міжфазна шорсткість, λ - довжина хвилі 35 40 45 50 55 рентгенівського випромінювання, X - останній спостережуваний дифракційний максимум. Суть корисної моделі полягає в наступному. Для спостереження дифракційного максимуму відбиття від будь-якої періодичної шаруватої системи під певним кутом (  ), необхідно, щоб шорсткість (σ) міжфазних меж була меншою величини періоду (d) цієї шаруватої системи, тобто σ