Шаповалова Тетяна Іванівна

Номер патенту: 1269

Опубліковано: 30.12.1993

Автори: Шаповалова Тетяна Іванівна, Жданов Альберт Миколайович

МПК: C04B 41/88, H01L 21/00, C04B 41/89 ...

Мітки: керамічну, шара, підкладку, струмопровідного, нанесення, спосіб

Формула / Реферат:

1. Способ нанесення токопроводящего слоя на керамическую подложку для получения микросхем, включающий последовательное ваку­умное напыление слоев титана и меди и термооб­работку, отличающийся тем, что, с целью обеспе­чения стабильного удельного сопротивления то­копроводящего слоя, на слой меди дополнительно вакуумным напылением наносят слои молибдена и меди, а термообработку проводят в вакууме при 850-900 °C.2. Способ по п.1,...