Щелкалін Віталій Миколайович
Пристрій для вирощування монокристалів з розплаву в ампулі
Номер патенту: 93940
Опубліковано: 25.03.2011
Автори: Козьмін Юрій Семенович, Єпіфанов Юрій Михайлович, Щелкалін Віталій Миколайович, Будаковський Сергій Валентинович, Тевяшев Андрій Дмітрієвич, Суздаль Віктор Семенович
МПК: C30B 15/20, G05D 27/00
Мітки: вирощування, розплаву, ампулі, монокристалів, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для вирощування монокристалів з розплаву в ампулі, що містить двозонну вертикальну піч, яка має дві камери з нагрівачами, кільцеву діафрагму, ампулу із речовиною, що кристалізується, у вигляді циліндра з конічним дном, механізм переміщення ампули у вертикальному напрямку із двигуном і приводом її переміщення, термопари й відліковий пристрій величини переміщення ампули, який відрізняється тим, що термопари встановлені на нагрівачах...