Василенко Наталія Панасівна
Спосіб одержання нітридної плівки
Номер патенту: 88430
Опубліковано: 11.03.2014
Автори: Василенко Наталія Панасівна, Васецька Лариса Олександрівна
МПК: C23C 16/34
Мітки: спосіб, одержання, нітридної, плівки
Формула / Реферат:
Спосіб одержання нітридної плівки, який полягає у розпиленні титанової мішені, формуванні модифікованого покриття в результаті іонної імплантації у ґратку полікристалічної підкладки іонізованих атомів титанової мішені і реактивного газу азоту, який відрізняється тим, що як полікристалічну підкладку застосовують підкладку конструкційної підшипникової сталі ШХ15, на яку перед імплантацією подають негативний потенціал, вмикають напругу на анод...
Спосіб одержання нітридної плівки
Номер патенту: 78779
Опубліковано: 25.03.2013
Автори: Васецька Лариса Олександрівна, Дзюба В'ячеслав Леонідович, Василенко Наталія Панасівна
МПК: C23C 16/34
Мітки: спосіб, нітридної, плівки, одержання
Формула / Реферат:
Спосіб одержання нітридної плівки, який включає розпилення титанової мішені, формування модифікованого покриття в результаті іонної імплантації у гратку полікристалічної підкладки іонізованих атомів титанової мішені і реактивного газу азоту, який відрізняється тим, що як полікристалічну підкладку застосовують підкладку конструкційної легованої сталі 40Х, на яку перед імплантацією подають негативний потенціал, вмикають напругу на анод і...