Васецька Лариса Олександрівна

Номер патенту: 88430

Опубліковано: 11.03.2014

Автори: Васецька Лариса Олександрівна, Василенко Наталія Панасівна

МПК: C23C 16/34

Мітки: спосіб, плівки, нітридної, одержання

Формула / Реферат:

Спосіб одержання нітридної плівки, який полягає у розпиленні титанової мішені, формуванні модифікованого покриття в результаті іонної імплантації у ґратку полікристалічної підкладки іонізованих атомів титанової мішені і реактивного газу азоту, який відрізняється тим, що як полікристалічну підкладку застосовують підкладку конструкційної підшипникової сталі ШХ15, на яку перед імплантацією подають негативний потенціал, вмикають напругу на анод...

Номер патенту: 78779

Опубліковано: 25.03.2013

Автори: Дзюба В'ячеслав Леонідович, Василенко Наталія Панасівна, Васецька Лариса Олександрівна

МПК: C23C 16/34

Мітки: плівки, спосіб, одержання, нітридної

Формула / Реферат:

Спосіб одержання нітридної плівки, який включає розпилення титанової мішені, формування модифікованого покриття в результаті іонної імплантації у гратку полікристалічної підкладки іонізованих атомів титанової мішені і реактивного газу азоту, який відрізняється тим, що як полікристалічну підкладку застосовують підкладку конструкційної легованої сталі 40Х, на яку перед імплантацією подають негативний потенціал, вмикають напругу на анод і...

Номер патенту: 56823

Опубліковано: 25.01.2011

Автори: Васецька Лариса Олександрівна, Кляхіна Наталія Панасівна, Дзюба В'ячеслав Леонідович

МПК: C23C 16/34

Мітки: одержання, спосіб, плівки, нітридної

Формула / Реферат:

Спосіб одержання нітридної плівки, який полягає у розпиленні титанової мішені, формуванні модифікованого покриття в результаті іонної імплантації у ґратку полікристалічної підкладки, який відрізняється тим, що як полікристалічну підкладку застосовують підкладку конструкційної сталі ВСт3сп, на яку перед імплантацією подають негативний потенціал, вмикають напругу на анод і катод, де виникає дуговий розряд, одночасно подають напругу на мішень...

Номер патенту: 50837

Опубліковано: 25.06.2010

Автори: Васецька Лариса Олександрівна, Дзюба В'ячеслав Леонідович, Кляхіна Наталія Панасівна

МПК: C23C 16/34

Мітки: плівки, нітридної, спосіб, одержання, багатошарової

Формула / Реферат:

Спосіб одержання нітридної плівки W2N/TiN/TiO2, що включає розпилення мішені, формування плівки в результаті іонної імплантації у ґратку холодної полікристалічної підкладки вольфраму іонізованих атомів титанової мішені і реактивного газу азоту, який відрізняється тим, що плівку W2N/TiN покривають зовні прошарком оксиду Ті при режимі: напруга (Up) і струм (Ір) на газовому розряді 400 В і 0,5 А, на мішені Uм=3 кВ і Ім=50 мА, на підкладці Uп=25...