Віллен Вілліам Сет
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази, що містить магазин зі злитками покривного матеріалу
Номер патенту: 71922
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: Віллен Вілліам Сет, Марікоккі Антоніо Френк, Брюс Роберт Вілліам, Вігв'є Рудольфо, Вортмен Девід Джон, Еванс Джон Дуглас, старший, Рігні Девід Вінсент
МПК: C23C 14/30, C23C 14/56
Мітки: містить, електронно-променевий, конденсацією, магазин, парової, злитками, матеріалу, фазі, пристрій, нанесення, покриття, покривного
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...