Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази, що містить магазин зі злитками покривного матеріалу

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція електронно-променевої гармати полягає в розплавленні покривного матеріалу (26) та випаровуванні розплавленого покривного матеріалу (26), засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12), виконані так, щоб пари покривного матеріалу осаджувалися на виробі (20), принаймні один обертовий магазин (102), який підтримує блок злитків покривного матеріалу (26) під покривною камерою (12) і забезпечує розташування принаймні одного із злитків на одній лінії із апертурою тигля (56) покривної камери (12) для подачі злитка (26) в покривну камеру (12), причому магазин (102) виконаний з можливістю бічного переміщення під покривною камерою для бічного регулювання положення покривного матеріалу (26) в покривній камері (12), та механізм подачі, який включає підйомник для підняття злитка (26) та маніпулятор для захоплення злитка (26) після підняття його підйомником, причому маніпулятор позиціоновано під непрямим кутом до горизонталі.

2. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає конденсаційну бленду (52), яка розташована в покривній камері (12) та, принаймні частково, оточує підтримуючі засоби (22), причому конденсаційна бленда (52) має першу відбивальну деталь (72), розташовану в покривній камері (12) таким чином, щоб виріб (20), підтримуваний засобами підтримки (22), був розташований між розплавленим покривним матеріалом (26) та першою відбивальною деталлю (72), яка має можливість пересуватись між першою та другою позиціями відносно розплавленого покривного матеріалу, при цьому перша позиція розташована ближче до засобів підтримки, ніж друга настільки, щоб піддати виріб (20), підтримуваний засобами підтримки (22), відбивальному нагріванню від розплавленого покривного матеріалу (26) більшою мірою при розташуванні першої відбивальної деталі (72) в першій позиції, ніж при її розташуванні в другій позиції.

3. Електронно-променевий пристрій за п. 2, який відрізняється тим, що в конденсаційній бленді підтримується тиск, вищий ніж в решті ділянок покривної камери (12).

4. Електронно-променевий пристрій за п. 2, який відрізняється тим, що конденсаційна бленда (52) має отвір (62), через який проходить електронний промінь (28).

5. Електронно-променевий пристрій за п. 2, який відрізняється тим, що додатково включає принаймні один знімний екран (76), прикріплений до конденсаційної бленди (52) підпружиненими штифтами (78).

6. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає: відбивальну деталь (72, 80), розташовану суміжно з розплавленим покривним матеріалом (26) для можливості піддання виробу (20), підтримуваному засобами підтримки (22), відбивальному нагріванню від відбивальної деталі (72, 80) та засоби (74, 77) для пересування відбивальної деталі (72, 80) до розплавленого покривного матеріалу (26) та від нього таким чином, щоб збільшити або зменшити, відповідно, відбивальне нагрівання виробу  (20) від відбивальної деталі (72, 80) до виробу (20).

7. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що розплавлений покривний матеріал (26) міститься в тиглі (56), який має першу деталь (82), яка оточує та утримує розплавлений покривний матеріал (26), та другу деталь (86), яка прикріплюється до першої деталі (82) та оточує нерозплавлену частину покривного матеріалу (26), причому перша та друга деталі (82, 86) тигля (56) визначено утворюють між собою кільцевий охолоджувальний прохідний канал (88).

8. Електронно-променевий пристрій за п. 7, який відрізняється тим, що електронний промінь (28) проеціюється на покривний матеріал (26) для визначення форми електронного променя на покривному матеріалі, та пристрій (10) додатково включає засоби для утворення проекцій окремої форми електронного променя (97) на тигель (56) для випаровування з нього крапель розплавленого покривного матеріалу (26), причому окрема форма електронного променя (97) має більшу інтенсивність, ніж форма електронного променя на покривному матеріалі (26).

9. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає вхідний отвір (54), що примикає до розплавленого покривного матеріалу (26) в покривній камері (12) і служить для впуску газу в покривну камеру (12), та засоби (58) для регулювання швидкості потоку газу через отвір (54) в покривну камеру (12), які розташовані зовні покривної камери (12) але з’єднані з отвором (54) усередині покривної камери (12).

10. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає поле індикації (48) для спостерігання за виробами (20) та розплавленим покривним матеріалом (26) в покривній камері (12), причому поле індикації (48) виконано рідинно-охолоджувальним і має ущільнення магнітними частками та забезпечує стереоскопічний огляд покривної камери (12).

11. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає: камеру попереднього нагрівання (14), розташовану суміжно із покривною камерою (12) для попереднього нагрівання виробу (20), підтримуваного засобами підтримки (22), до введення виробів (20) в покривну камеру, завантажувальні камери (16, 18), розташовані суміжно із камерою попереднього нагрівання та навпроти покривної камери (12), засоби (46) в завантажувальних камерах (16, 18) для пересування виробів (20), підтримуваних засобами підтримки (22), перші двері (40) до завантажувальних камер (16, 18) для завантаження та розвантаження виробів (20) із засобів підтримки (22) та другі двері (42) до завантажувальних камер (16, 18) для пропуску пересувних засобів (46).

12. Електронно-променевий пристрій за п. 11, який відрізняється тим, що додатково включає перший пропускний канал між завантажувальними камерами (16, 18) та камерою попереднього нагрівання (14) та другий пропускний канал між камерою попереднього нагрівання (14) та покривною камерою (12), кожний перший та другий канали мають мінімальний розмір принаймні 250 мм.

13. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає дифузійний насос (34) для вакуумування покривної камери (12) та дросельний клапан (36) для регулювання вакуумування покривної камери (12) дифузійним насосом (34).

14. Електронно-променевий пристрій за п. 13, який відрізняється тим, що додатково включає засоби (33) для виявлення витоку із вакуумної системи.

15. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що покривна камера (12) складається з першої частини, що виконана із можливістю рухатися між робочою позицією, в якій перша частина сполучена із другою частиною покривної камери (12), та позицією технічного обслуговування, в якій перша частина відокремлюється від другої частини, та електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази додатково включає пересувну платформу (50), розташовану під покривною камерою (12).

16. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає принаймні два іонних сенсори (55) для визначення субатмосферного тиску в покривній камері (12), які діють незалежно для можливості селективного застосування одного із них без переривання процесу покриття виробу (20).

17. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає: принаймні одну камеру (70) в електронно-променевій гарматі (30), крізь яку проходить електронний промінь (28), засоби (66) для вакуумування камери (70) для підтримування в ній значення тиску, нижчого ніж в покривній камері, та отвір (68) в електронно-променевій пушці, крізь який проходить електронний промінь та який відокремлює камеру (70) від покривної камери (12), причому отвір (68) має діаметр та довжину менше 30 мм та 120 мм відповідно.