Возний Віталій Іванович

Номер патенту: 67392

Опубліковано: 15.06.2004

Автори: Мордик Сергій Миколайович, Мирошниченко Валентин Іванович, Возний Віталій Іванович, Сторижко Володимир Юхимович

МПК: H01J 27/16

Мітки: джерело, іонів, високочастотне

Формула / Реферат:

1. Високочастотне джерело іонів, що містить газорозрядну камеру, зв'язану із системою газонапуску, індуктор, іонно-оптичну систему, систему постійних магнітів, що охоплює газорозрядну камеру, яке відрізняється тим, що система магнітів виконана у вигляді рівнобіжних магнітних кілець, прилеглих одне до одного, і розташована між індуктором і іонно-оптичною системою з можливістю переміщення уздовж осі по поверхні газорозрядної камери.2....