Жаровський Григорій Яковлевич
Пристрій для іонно-плазмової обробки виробів
Номер патенту: 49263
Опубліковано: 15.12.2004
Автори: Борисова Ніна Миколаївна, Дабіжа Євген Вікторович, Золотухін Олександр Віталійович, Жаровський Григорій Яковлевич
МПК: H01J 37/08, C23C 14/32
Мітки: іонно-плазмової, обробки, виробів, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для іонно-плазмової обробки виробів, що містить два електроди, один з яких (катод) розташований вертикально і виведений одним кінцем через ізольований ввід з вакуумної камери, а з боку другого кінця міститься вузол підпалювання дуги, електрично зв'язаний з пристроєм підпалювання, механічний пристрій гасіння дуги, розміщений навкруги вертикально розташованого електрода з боку ізольованого вводу, відкачувальну вакуумну систему з...