Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері

Реферат: Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері, який містить циліндричний корпус (2) з наскрізним повздовжнім отвором (32), який горизонтально розташований у вакуумній камері (4), два вертикальних вводи-виводи (5, 6), кожен із яких приєднаний до циліндричного корпусу (2), і кожен із двох вертикальних вводів-виводів (5, 6) у своїй верхній частині приєднаний до відповідного механізму регулювання (15, 16), кожен із яких встановлений на верхній стінці (34) вакуумної камери (4), і кожен із цих двох механізмів регулювання (15, 16) містить вузол вакуумного вводу (39) та механічні елементи регулювання витрачуваного катода (1) у вакуумній камері (4), який відрізняється тим, що конструкція кожного із двох вводів-виводів (5, 6) утворена трубчастим елементом (7, 8) і кожен із двох вводіввиводів (5, 6) у своїй верхній частині містить діелектричну розв'язку (9,10), штуцер вводу-виводу охолоджуючого агента (11, 12) та ізолятор від запилення (13, 14), крім того, кожен з механізмів регулювання (15, 16) містить втулку (17), в яку вставлені дві гумові прокладки (18) та (20), при цьому у кожному з механізмів регулювання (15,16) за допомогою гайки (21) через шайбу (22) і через діелектричну втулку (23) здійснено протягування втулки (19), де гайка (21) стягує між собою по вертикалі такі деталі кожного з механізмів регулювання (15, 16) як втулку (17), гумову прокладку (18), втулку (19) та гумову прокладку (20), і при цьому гайка (21) притискає зазначені деталі до фланця (24), і в таку зібрану конструкцію кожного з механізмів регулювання (15, 16) встановлено нижню діелектричну втулку (25), один з трубчастих елементів (7, 8) одного з вводів-виводів (5, 6), гумову втулку (26), яка притискається верхньою діелектричною втулкою (27), яка в свою чергу через шайбу (28) затискається спеціальною гайкою (29), при цьому кожен з механізмів регулювання (15, 16) встановлений у відповідний в кожух (35, 36), кожен із яких жорстко прикріплений до верхньої стінки (34) корпусу вакуумної камери (4), і кожен з кожухів (35, 36) містить у верхній частині зустрічний фланець (37), і кожен з механізмів регулювання (15, 16) за допомогою фланця (24) прикріплений закріплювальними болтами (30) до зустрічного фланця (37) відповідного кожуха (35, 36). UA 111112 U (54) ВИТРАЧУВАНИЙ КАТОД З МЕХАНІЗМОМ ЙОГО РЕГУЛЮВАННЯ У ВАКУУМНІЙ КАМЕРІ UA 111112 U UA 111112 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Корисна модель належить до конструктивних елементів вакуумних установок, в яких здійснюють нанесення покриття на вироби, які можуть бути використані в різних галузях. Зокрема, корисна модель належить до конструкції витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері. Найбільш близьким до запропонованої корисної моделі є витрачуваний катод, де на виводах катода закріплені механічні вузли для можливості переміщення катода відносно анода у горизонтальному та у вертикальному напрямках. Такий витрачуваний катод з механізмом його регулювання описаний у складі електродугового випарника металів та сплавів для нанесення покриття у вакуумі. Ця конструкція витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері містить циліндричний корпус з наскрізним повздовжнім отвором, який горизонтально розташований у вакуумній камері, два вертикальних вводи-виводи, кожен із яких приєднаний до одного з країв циліндричного корпусу, і кожен із двох вертикальних вводіввиводів у своїй верхній частині приєднаний до відповідного механізму регулювання, кожен із яких встановлений на верхній стінці (14) вакуумній камері (4), і кожен із цих двох механізмів регулювання (15, 16) містить вузол вакуумного вводу та механічні елементи регулювання витрачуваного катода у вакуумній камері (Патент України на винахід № 102800, м. кл. С23С 14/32, С23С 14/24, С23С 14/16, С23С 14/54, публ. 12.08.2013, бюл. № 15 [1]). Описана конструкція призначена для забезпечення руху катода відносно анода, але це технічне рішення не дозволяє підвищити точність та зручність регулювання та встановлення положення витрачуваного катода всередині вакуумної камери з досягненням максимально можливого розташування та закріплення циліндричного корпусу витрачуваного катода у необхідному робочому положенні, і також водночас урізноманітнити та вдосконалити конструкцію витрачуваного катоду з механізмом його регулювання у вакуумній камері. Задачею запропонованої корисної моделі є створення витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері, який би за рахунок сукупності всіх суттєвих ознак, в тому числі і та за рахунок його нових ознак, таких як наявність нових конструктивних елементів, їх форми та взаємного розташування дозволив би одержати технічний результат - підвищити точність та зручність регулювання та встановлення положення витрачуваного катоду в середині вакуумної камери з досягненням максимально можливого розташування та закріплення циліндричного корпусу витрачуваного катода у необхідному робочому положенні, і також водночас урізноманітнити та вдосконалити конструкцію витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері. Поставлена задача вирішується тим, що витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері містить циліндричний корпус (2) з наскрізним повздовжнім отвором (32), який горизонтально розташований у вакуумній камері (4), два вертикальних вводи-виводи (5, 6), кожен із яких приєднаний до одного з країв циліндричного корпусу (2), і кожен із двох вертикальних вводів-виводів (5, 6) у своїй верхній частині приєднаний до відповідного механізму регулювання (15, 16), кожен із яких встановлений на верхній стінці (34) вакуумної камери (4), і кожен із цих двох механізмів регулювання (15, 16) містить вузол вакуумного вводу (39) та механічні елементи регулювання витрачуваного катода (1) у вакуумній камері (4). Новим є те, що конструкція кожного із двох вводів-виводів (5, 6) утворена трубчастим елементом (7, 8) і кожен із двох вводів-виводів (5, 6) у своїй верхній частині містить діелектричну розв'язку (9,10), штуцер вводу-виводу охолоджуючого агента (11, 12) та ізолятор від запилення (13, 14). Крім того, кожен з механізмів регулювання (15, 16) містить втулку (17), в яку вставлені дві гумові прокладки (18) та (20). При цьому у кожному з механізмів регулювання (15, 16) за допомогою гайки (21) через шайбу (22) і через діелектричну втулку (23) здійснено протягування втулки (19), де гайка (21) стягує між собою по вертикалі такі деталі кожного з механізмів регулювання (15, 16) як втулку (17), гумову прокладку (18), втулку (19) та гумову прокладку (20), і при цьому гайка (21) притискає зазначені деталі до фланця (24). В таку зібрану конструкцію кожного з механізмів регулювання (15, 16) встановлено нижню діелектричну втулку (25), один з трубчастих елементів (7, 8) одного з вводів-виводів (5, 6), гумову втулку (26), яка притискається верхньою діелектричною втулкою (27), яка в свою чергу через шайбу (28) затискається спеціальною гайкою (29). При цьому кожен з механізмів регулювання (15, 16) встановлений у відповідний кожух (35, 36), кожен із яких жорстко прикріплений до верхньої стінки (34) корпусу вакуумної камери (4), і кожен з кожухів (35, 36) містить у верхній частині зустрічний фланець (37), і кожен з механізмів регулювання (15, 16) за допомогою фланця (24) прикріплений закріплювальними болтами (30) до зустрічного фланця (37) відповідного кожуха (35, 36). 1 UA 111112 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 Додатково запропонований пристрій характеризується наступними уточнюючими новими ознаками. Кожен з механізмів регулювання (15,16) прикріплений за допомогою фланця (24) до зустрічного фланця (37) відповідного кожуха (35, 36) не менш ніж двома закріплювальними болтами (30). Кожен із кожухів (35, 36) має циліндричну трубчасту форму, а фланець (24) та зустрічний фланець (37) мають круглу площинну форму і кожен із цих фланців містить чотири закріплювальних отвори (31) для закріплювальних болтів (30). Кожен із кожухів (35, 36) має прямокутну коробчасту форму, а фланець (24) і зустрічний фланець (37) мають прямокутну площинну форму і кожен із цих фланців містить чотири регулюючо-закріплювальних отвори (38) для закріплювальних болтів (30), при цьому кожен із регулюючо-закріплювальних отворів (38) має подовжену форму. Циліндричний корпус (2) витрачуваного катода (1) виконаний із не менш ніж двох сегментів (3), які з'єднані між собою, де кожен із не менш ніж двох сегментів (3) є циліндричним елементом з повздовжнім наскрізним отвором (33), і кожен із сегментів (3) виконаний з матеріалу, що випаровується. Циліндричний корпус (2) витрачуваного катода (1) виконаний із декількох сегментів (3), які з'єднані між собою і кожен із цих сегментів (3) виконаний з матеріалу, що випаровується і є циліндричним елементом з повздовжнім наскрізним отвором (33), а кількість таких з'єднаних між собою сегментів (3) складає від 2 до 15 одиниць. Промислова здатність запропонованого витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері описана нижче, а також показана на фіг. 1 - фіг. 5. Фіг. 1 - загальне зображення витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері. Фіг. 2 - зображення елементів механізму регулювання витрачуваного катода. Фіг. 3 - зображення зверху фланця (24), де виконано чотири отвори (31). Фіг. 3 - зображення зверху круглого фланця (24), де виконано чотири отвори (31). Фіг. 4 - зображення зверху прямокутного фланця (24), де виконано чотири регулюючозакріплювальних отвори (38). Фіг. 5 - загальне зображення витрачуваного катоду із декількох сегментів, які з'єднані між собою. Перелік конструктивних елементів корисної моделі: витрачуваний катод 1; циліндричний корпус 2 витрачуваного катода 1; сегменти 3 циліндричного корпусу 2; вакуумна камера 4; вводи-виводи 5, 6 катода 1, кожен із яких відповідно містить: трубчасті елементи 7, 8, діелектричні розв'язки 9, 10, штуцери вводу-виводу охолоджуючого агента 11, 12, ізолятори від запилення 13, 14; механізми регулювання 15, 16, кожен із яких містить такі елементи, як: втулка 17, гумова прокладка 18, втулка 19, гумова прокладка 20, гайка 21, шайба 22, діелектрична втулка 23, фланець 24, нижня діелектрична втулка 25, гумова втулка 26, верхня діелектрична втулка 27, шайба 28, спеціальна гайка 29, закріплювальні болти 30, отвори 31 на круглому фланці 24 для болтів 30; наскрізний повздовжній отвір 32 циліндричного корпусу 2; наскрізні повздовжні отвори 33 сегментів 3 циліндричного корпусу 2; стінка 34 корпусу вакуумної камери 4; кожухи 35, 36; зустрічний фланець 37 кожухів 35, 36; регулюючо-закріплювальні отвори 38 на прямокутному фланці 24 для болтів 30; 2 UA 111112 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 вузол вакуумного вводу 39 механізмів регулювання 15, 16. зварний шов 40 місця кріплення кожухів 35, 36 до стінки 34 корпусу вакуумної камери 4. Статичний опис пристрою. Витрачуваний катод 1 горизонтально розташовують та встановлюють у вакуумній камері 4 (фіг. 1). Витрачуваний катод 1 виконаний у вигляді циліндричного корпусу 2 з наскрізним повздовжнім отвором 32. В окремих випадках виконання корисної моделі циліндричний корпус 2 витрачуваного катода 1 може бути виконаний із не менш ніж двох сегментів 3, які з'єднані між собою, де кожен із не менш ніж двох сегментів 3 є циліндричним елементом з повздовжнім наскрізним отвором 33, який виконаний з матеріалу, що випаровується (фіг. 5). Також в окремих випадках виконання корисної моделі циліндричний корпус 2 витрачуваного катода 1 може бути виконаний із декількох сегментів 3, які з'єднані між собою і кожен із цих сегментів 3 виконаний з матеріалу, що випаровується і є циліндричним елементом з повздовжнім наскрізним отвором 33, а кількість таких з'єднаних між собою сегментів 3 складає від 2 до 15 одиниць (фіг. 5). У зазначених випадках виконання циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 із декількох сегментів 3 перед з'єднанням сегментів 3 в єдиний циліндричний корпус 2, в кожному із сегментів 3 виконують (просвердлюють) повздовжній наскрізний отвір 33 (фіг. 5). Після цього сегменти 3 з'єднують між собою шляхом, наприклад, зварювання, і таким чином утворюють циліндричний корпус 2 витрачуваного катода 1, при цьому отвори 33 з'єднаних сегментів 3 утворюють єдиний повздовжній наскрізний отвір 32 циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1. До кожного із країв циліндричного корпусу 2 приєднаний вертикальний ввід-вивід 5 та 6. (фіг.1, 2). Вводи-виводи 5, 6 розташовані у вакуумній камері 4 вертикально. Кожен із цих двох вертикальних вводів-виводів 5, 6 у своїй верхній частині приєднаний до відповідного механізму регулювання 15, 16 витрачуваного катода 1. Кожен із двох механізмів регулювання 15, 16 встановлений на верхній стінці 34 вакуумної камери 4, і кожен із цих двох механізмів регулювання 15, 16 містить вузол вакуумного вводу 39 та механічні елементи регулювання витрачуваного катода 1 у вакуумній камері 4. Конструкція кожного із двох вводів-виводів 5, 6 утворена трубчастим елементом 7, 8 і кожен із двох вводів-виводів 5, 6 у своїй верхній частині містить діелектричну розв'язку 9, 10, штуцер вводу-виводу охолоджуючого агента 11, 12 та ізолятор від запилення 13, 14 (фіг. 2, фіг. 1). Кожен з механізмів регулювання 15, 16 є складною конструкцією, яка місить складові деталі та елементи, що описані далі (фіг. 2). Кожен з механізмів регулювання 15, 16 місить втулку 17, в яку вставлена гумова прокладка 18 та гумова прокладка 20, яка забезпечує додаткову вакуумізацію всього механізму. За допомогою гайки 21 через шайбу 22 і через діелектричну втулку 23 здійснено протягування втулки 19, де гайка 21 стягує між собою по вертикалі такі деталі кожного з механізмів регулювання 15, 16 як втулку 17, гумову прокладку 18, втулку 19 і гумову прокладку 20. Гайка 21 притискає зазначені деталі до фланця 24, і в таку зібрану конструкцію кожного з механізмів регулювання 15, 16 встановлено нижню діелектричну втулку 25, трубчастий елемент 7 або 8 вводів-виводів 5 або 6, гумову втулку 26, яка притискається верхньою діелектричною втулкою 27, яка в свою чергу через шайбу 28 затискається спеціальною гайкою 29. Зазначені конструктивні елементи (поз. 7 - поз. 29) в цілому належать до вузла вакуумного вводу 39. На верхній стінці 34 корпусу вакуумної камери 4 розташовані і жорстко прикріплені до поверхні верхньої стінці 34 кожухи 35, 36 для встановлення в них механізмів регулювання 15, 16. Кріплення кожухів 35, 36 до поверхні верхньої стінки 34 може бути здійснено шляхом приварювання (зварні шви показані позицією 40 на фіг. 2). Кожен з кожухів 35, 36 містить у верхній частині зустрічний фланець 37, який жорстко прикріплений (наприклад шляхом приварювання) до верхньої частини кожного з кожухів 35, 36. Кожен з механізмів регулювання 15, 16 встановлений у відповідний в кожух 35, 36 і, за допомогою фланця 24, кожен з механізмів регулювання 15, 16 прикріплений закріплювальними болтами 30 до зустрічного фланця 37 відповідного кожуха 35, 36. В окремих випадках виконання корисної моделі кожен з механізмів регулювання 15, 16 може бути прикріплений за допомогою фланця 24 до зустрічного фланця 37 відповідного кожуха 35, 36 не менш ніж двома закріплювальними болтами 30. В залежності від технологічної необхідності, та в залежності від конструктивних особливостей вакуумної камери 4, в які використовують витрачуваний катод з механізмом його регулювання, в окремих випадках використання корисної моделі, можуть бути застосовані різні конструкції кожухів 35, 36, фланця 24 та зустрічного фланця 37. Наприклад, кожен із кожухів 35, 36 може мати циліндричну трубчасту форму, а фланець 24 та зустрічний фланець 37 при цьому мають круглу площинну форму і кожен із цих фланців містить чотири закріплювальних отвори 3 UA 111112 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 31 для закріплювальних болтів 30 (фіг. 2, фіг. 3). Така конфігурація дозволяє жорстко встановити і закріпити витрачуваний катод з механізмами регулювання 15, 16 у вакуумній камері та, за рахунок конструкції механізмів регулювання 15 та 16, здійснювати регулювання положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 по вертикальних напрямках з двох кінців циліндричного корпусу 2 витрачуваного катоду 1. В інших випадках виконання корисної моделі кожен із кожухів 35, 36 може мати прямокутну коробчасту форму, а фланець 24 і зустрічний фланець 37 мають, при цьому прямокутну площинну форму і кожен із цих фланців 24 та 37 містить чотири регулюючо-закріплювальних отвори 38 для закріплювальних болтів 30, при цьому кожен із регулюючо-закріплювальних отворів 38 має подовжену форму (фіг. 4). Така конфігурація також дозволяє жорстко встановити і закріпити витрачуваний катод 1 з механізмами регулювання 15, 16 у вакуумній камері 4. Але перед закріпленням механізмів регулювання 15, 16, за рахунок наявності регулюючо-закріплювальних отворів 38, які мають подовжену форму, і які розташовані на прямокутних фланцях 24 та 37, можливо здійснити регулювання положення витрачуваного катода 1 у вакуумній камері 4 по горизонтальних напрямках з двох протилежних країв витрачуваного катода 1. При цьому за рахунок конструкції механізмів регулювання 15 та 16, можливо також одночасно здійснювати регулювання положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 по вертикальних напрямках з двох кінців циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1. Робота пристрою. Корисна модель належить до конструктивних елементів вакуумних установок, в яких здійснюють нанесення на вироби покриттів у вакуумних камерах. Безпосередньо витрачуваний катод 1 є елементом, який розташований у вакуумній камері 4, і який під час роботи вакуумної установки є елементом, що випарює із своєї поверхні потоки плазми у вигляді частинок (молекул) матеріалу витрачуваного катода 1 на виріб, який розташований у вакуумній камері 4. Система регулювання витрачуваного катода 1 у вигляді сукупності механізмів регулювання 15, 16 призначена для підвищення точності та зручності регулювання та встановлення положення витрачуваного катода 1 всередині вакуумної камери 4 з досягненням максимально можливого розташування та закріплення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 у необхідному робочому положенні. Циліндричний корпус 2 витрачуваного катода 1 розташовується у вакуумній камері 4 в горизонтальному положенні. До двох країв циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 вертикально приєднані два вводи-виводи 5, 6, при цьому внутрішній отвір 32 циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 та внутрішні отвори трубчастих елементів 7, 8 вертикальних вводів-виводів 5, 6 утворюють єдиний проточний простір для охолоджуючого агента (води, рідини, іншої речовини). Кожен із вводів-виводів 5, 6 закріплений у верхній частині вакуумної камери 4 до верхньої стінки 34 корпусу вакуумної камери 4 разом із механізмами регулювання 15, 16, які в свою чергу встановлені в кожухах 35, 36. За допомогою механізмів регулювання 15, 16 здійснюють регулювання положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 у вакуумній камері 4. Шляхом послаблення спеціальної гайки 29 будь-якого із механізмів регулювання 15, 16 можливо здійснювати переміщення вводу-виводу 5 та/або вводу виводу 6 по вертикальній осі вверх або вниз, що дозволяє встановити необхідне положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 по вертикальній осі всередині вакуумної камери 4. При цьому жорстке закріплення вводів-виводів 5, 6 разом із механізмами регулювання 15, 16 до верхньої стінки 34 корпусу вакуумної камери 4 здійснюють через фланці 24 та 37 кожухів 35, 36 за допомогою отворів 31 і закріплювальних болтів 30 (фіг. 2, фіг. 3). Після встановлення витрачуваного катода 1 по вертикальній осі в необхідне положення всередині вакуумної камери 4 спеціальну гайку 29 затягують і таким чином закріплюють вертикальне положення вводів-виводів 5 та/або 6, чим самим також фіксують положення витрачуваного катода 1 по вертикалі. У випадку, коли кожен із кожухів 35, 36 має прямокутну коробчасту форму, і фланці 24, 37 також мають прямокутну площинну форму, і кожен із цих фланців 24 та 37 містить чотири подовжених регулюючо-закріплювальних отворів 38, можливо здійснювати переміщення вводувиводу 5 та/або вводу виводу 6 по горизонталі в дві протилежні сторони. Таке рішення дозволяє встановити необхідне положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 по горизонталі всередині вакуумної камери (4) з наступним жорстким закріпленням виводів 5, 6 разом із механізмами регулювання 15, 16 до верхньої стінки 34 корпусу вакуумної камери 4 за допомогою регулюючо-закріплювальних отворів 38 для і закріплювальних болтів 30 (фіг. 4). Таким чином налаштовування і встановлення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 у горизонтальній площині можливо здійснити за рахунок комбінації регулюючо-закріплювальних отворів 38, які мають подовжену форму і розташовані на фланцях 24, 37 і за допомогою 4 UA 111112 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 закріплювальних болтів 30. У прикладі, який наведений на (фіг. 4) на фланцях 24, 37 кожухів 35, 36 механізмів регулювання 15, 16 виконано чотири регулюючо-закріплювальних отвори 38, і відповідно, у цьому прикладі для регулювання та закріплення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 по горизонталі також застосовують чотири болти (30). У різних випадках виконання корисної моделі, кількість регулюючо-закріплювальних отворів 38 і болтів (30) може бути різною, в залежності від конструктивних особливостей вакуумної установки. При необхідності регулювання та фіксування положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 у горизонтальній площині всередині вакуумної камери 4 здійснюють послаблення болтів 30, і вздовж регулюючо-закріплювальних отворів 38 переміщують механізми регулювання 15 та/або 16 разом із вводом-виводом 5 та/або 6, та разом із циліндричним корпусом 2 витрачуваного катода 1. Після встановлення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 по горизонталі в необхідне положення всередині вакуумної камери 4, болти 30 затягують, і таким чином закріплюють положення механізмів регулювання 15, 16 разом із вводом-виводом (5, 6), та разом із витрачуваним катодом (1) по горизонталі. Одночасно з описаним у цьому прикладі регулюванням по горизонталі шляхом послаблення спеціальної гайки 29 будь-якого із механізмів регулювання 15, 16 можливо здійснювати переміщення вводувиводу 5 та/або вводу виводу 6 по вертикальній осі вверх або вниз, що дозволяє встановити необхідне положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 по вертикальній осі всередині вакуумної камери 4. Тобто, в описаному прикладі можливо встановити необхідне положення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 всередині вакуумної камері 4 шляхом одночасного регулювання як по горизонталі, так і по вертикалі. В окремих випадках виконання корисної моделі, коли циліндричний корпус 2 витрачуваного катода 1 виконаний із не менш ніж двох або з декількох сегментів 3, які з'єднані між собою (фіг. 5), такий циліндричний корпус 2 працює у вакуумній камері 4 таким самим чином як і суцільний циліндричний корпус 2 витрачуваного катода 1. У галузі вакуумних установок для нанесення покриття на вироби невеликі за розміром сегменти 3 для утворення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 є більш доступними, економічними та зручними для використання, ніж цільні циліндричні корпуси витрачуваних катодів. Запропонована конструкція витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері може бути використана за її цільовим призначенням у вакуумних установках та в подібних пристроях, в яких зазвичай здійснюють нанесення покриття на вироби шляхом випарювання металів і сплавів з поверхні циліндричного корпусу 2 витрачуваного катоду 1 саме на вироби, на які необхідно нанести покриття (фіг. 1). Вакуумні установки та подібні пристрої, в яких може бути використана запропонована корисна модель, можуть відрізнятися окремими конструктивними елементами та системами, але в цілому вони працюють на загальновідомих науково-технічних принципах, які є властивими для таких пристроїв. Сукупність усіх суттєвих ознак витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері дозволяє одержати технічний результат - підвищити точність та зручність регулювання та встановлення положення витрачуваного катода 1 всередині вакуумної камери 4 з досягненням максимально можливого розташування та закріплення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 у необхідному робочому положенні. В окремих випадках застосування корисної моделі додатково можливо використання не менш ніж двох або декількох сегментів 3 для утворення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1, що передбачає можливість використання невеликих за довжиною сегментів 3 катода 1, ціна та собівартість яких є значно меншою, ніж ціна суцільного циліндричного корпусу 2, який зазвичай використовують як витрачуваний катод. Крім того, на відміну від великого за довжиною суцільного циліндричного корпусу 2, у випадку запропонованої корисної моделі, технологічний процес виконання (просвердлювання) повздовжніх наскрізних отворів 33 в сегментах катода 3, є значно економнішим та більш зручним, ніж просвердлювання єдиного суцільного повздовжнього наскрізного отвору 32 у суцільному циліндричному корпусі 2. Таке рішення водночас із досягненням технічного результату також дозволяє урізноманітнити та вдосконалити конструкцію витрачуваного катоду з механізмом його регулювання у вакуумній камері. Запропонований витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері багаторазово виготовлений у промислових умовах, проведені його широкі експериментальновиробничі випробування у складі різних вакуумних установок, які показали промислову здатність цього катоду з механізмом його регулювання та його високу ефективність при використанні, де було досягнута висока точність та зручність регулювання і встановлення положення витрачуваного катода 1 всередині вакуумної камери 4 з досягненням максимально можливого розташування та закріплення циліндричного корпусу 2 витрачуваного катода 1 у 5 UA 111112 U 5 необхідному робочому положенні водночас із досягненням урізноманітнення та вдосконалення конструкції витрачуваного катода з механізмом його регулювання у вакуумній камері. Джерела інформації: 1. Патент України на винахід № 102800, м. кл. С23С 14/32, С23С 14/24, С23С 14/16, С23С 14/54, публ. 12.08.2013, бюл. № 15 -прототип. ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 1. Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері, який містить циліндричний корпус (2) з наскрізним повздовжнім отвором (32), який горизонтально розташований у вакуумній камері (4), два вертикальних вводи-виводи (5, 6), кожен із яких приєднаний до циліндричного корпусу (2), і кожен із двох вертикальних вводів-виводів (5, 6) у своїй верхній частині приєднаний до відповідного механізму регулювання (15, 16), кожен із яких встановлений на верхній стінці (34) вакуумної камери (4), і кожен із цих двох механізмів регулювання (15, 16) містить вузол вакуумного вводу (39) та механічні елементи регулювання витрачуваного катода (1) у вакуумній камері (4), який відрізняється тим, що конструкція кожного із двох вводів-виводів (5, 6) утворена трубчастим елементом (7, 8) і кожен із двох вводів-виводів (5, 6) у своїй верхній частині містить діелектричну розв'язку (9,10), штуцер вводувиводу охолоджуючого агента (11, 12) та ізолятор від запилення (13, 14), крім того, кожен з механізмів регулювання (15, 16) містить втулку (17), в яку вставлені дві гумові прокладки (18) та (20), при цьому у кожному з механізмів регулювання (15,16) за допомогою гайки (21) через шайбу (22) і через діелектричну втулку (23) здійснено протягування втулки (19), де гайка (21) стягує між собою по вертикалі такі деталі кожного з механізмів регулювання (15, 16) як втулку (17), гумову прокладку (18), втулку (19) та гумову прокладку (20), і при цьому гайка (21) притискає зазначені деталі до фланця (24), і в таку зібрану конструкцію кожного з механізмів регулювання (15, 16) встановлено нижню діелектричну втулку (25), один з трубчастих елементів (7, 8) одного з вводів-виводів (5, 6), гумову втулку (26), яка притискається верхньою діелектричною втулкою (27), яка в свою чергу через шайбу (28) затискається спеціальною гайкою (29), при цьому кожен з механізмів регулювання (15, 16) встановлений у відповідний в кожух (35, 36), кожен із яких жорстко прикріплений до верхньої стінки (34) корпусу вакуумної камери (4), і кожен з кожухів (35, 36) містить у верхній частині зустрічний фланець (37), і кожен з механізмів регулювання (15, 16) за допомогою фланця (24) прикріплений закріплювальними болтами (30) до зустрічного фланця (37) відповідного кожуха (35, 36). 2. Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері за п. 1, який відрізняється тим, що кожен з механізмів регулювання (15, 16) прикріплений за допомогою фланця (24) до зустрічного фланця (37) відповідного кожуха (35, 36) не менш ніж двома закріплювальними болтами (30). 3. Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері за п. 1, який відрізняється тим, що кожен із кожухів (35, 36) має циліндричну трубчасту форму, а фланець (24) та зустрічний фланець (37) мають круглу площинну форму і кожен із цих фланців містить чотири закріплювальних отвори (31) для закріплювальних болтів (30). 4. Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері за п. 1, який відрізняється тим, що кожен із кожухів (35, 36) має прямокутну коробчасту форму, а фланець (24) і зустрічний фланець (37) мають прямокутну площинну форму і кожен із цих фланців містить чотири регулюючо-закріплювальних отвори (38) для закріплювальних болтів (30), при цьому кожен із регулюючо-закріплювальних отворів (38) має подовжену форму. 5. Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері за будь яким з пп. 1-4, який відрізняється тим, що циліндричний корпус (2) витрачуваного катода (1) виконаний із не менш ніж двох сегментів (3), які з'єднані між собою, де кожен із не менш ніж двох сегментів (3) є циліндричним елементом з повздовжнім наскрізним отвором (33), і кожен із сегментів (3) виконаний з матеріалу, що випаровується. 6. Витрачуваний катод з механізмом його регулювання у вакуумній камері за будь яким з пп. 1-4, який відрізняється тим, що циліндричний корпус (2) витрачуваного катода (1) виконаний із декількох сегментів (3), які з'єднані між собою і кожен із цих сегментів (3) виконаний з матеріалу, що випаровується, і є циліндричним елементом з повздовжнім наскрізним отвором (33), а кількість таких з'єднаних між собою сегментів (3) складає від 2 до 15 одиниць. 6 UA 111112 U 7 UA 111112 U 8 UA 111112 U 9 UA 111112 U Комп’ютерна верстка Л. Литвиненко Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Василя Липківського, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут інтелектуальної власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 10