Спосіб очистки поверхонь підкладок

ДЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭКЗ СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК 000071 SU. an _ * (51)5 С 23 С 14/02 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 (21)4649817/21 (22)03.01 89 (75) С П.Олеськив и Б С Олеськив (53)621 793.7(088 8) (56) Данилин Б С Вакуумная техника в производстве интегральных схем.- К/1.. Энергия, 1972, с. 58. Физика и техника высокого вакуума Сборник.- Казань Изд-во Казанского университета 1974,с 31.155-158 (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК (57) Изобретение относится к очистке поверхностей и может быть использовано в микроэлектронике. Целью изобретения является снижение энергозатрат Цель достигается тем, что разрушение здсорбционных связей молекул пэров воды и гидроксильных групп с поверхностями обработки осуществляют электромагнитными волнами малой энергии с длиной волны, равной длине собственных валентных колебаний адсорбированных молекул Облучая поверхность подложки с адсорбированными молекулами электромагнитными волнами с длиной волны, равной длине собственных колебаний сорбционных связей, возбуждают резонанс колебаний сорбционных связей В результате сорбционные связи с обрабатываемой поверхностью молекул паров воды и гидроксильных групп разрываются Удельный поток энергии не менее 0,5.10 Дж.м.с Данные соотношения значительно снижают энергозатраты по сравнению с известным способом и позволяют разрушить не только химические, но и адсорбционные связи молекул с поверхностями, подлежащими очистке, за счет резонанса колебаний Изобретение относится к квантовой физике и электронной технике и может быть использовано в микроэлектронике для очи стки поверхности подложек перед нанесением тонких пленок Цель изобретения - снижение энергозатрат Это достигается благодаря тому, что разрушение адсорбционных связей молекул водяных паров и гидроксильных групп с поверхностями обработки осуществляют электромагнитными волнами малой энергии с длиной волны, равной собственной длине валентных колебаний адсорбированных молекул Облучая поверхность подложкм с адсорбированными молекулами электромагнитными волнами с длиной волны, равной длине собственных колебаний сорбционных связей, возбуждают резо нанс колебаний сорбционных связей В результате резонанса колебаний сорбционные связи молекул водяных паров и гидроксильных групп с обрабатываемой поверхностью разрываются Энергия электромагнитных волн, вызывающих резонанс колебаний сорбционных связей молекул, равна 11-91 ' ) ,Г \ £ ~ hv /Г ~ ~ где h-постоянная Планка (h = 6,6254-10 Дж-с), С-скорость света в вакууме (С'- 2,99793х 1 } Я - длина волны валентных колебаний сорбционной связи молекул водяных паров (А= 3700 см 1 ). Подставляя значения получим £ = 6,625Ф103"Джсх2,99793-1010смс"1х х 3700 см"1 = 7.35-10 2 0 Д ж 1637365 Поток энергии W электромагнитных волн на единицу облучаемой поверхности S равен W = со (v ,T) где о) - объемная плотность энергии ров и гидроксильных групп, соответственно Х = 3700 см"1 и Х - 3450 см } В качестве источника электромагнитных волн используют лампу, например, типа КГ22О-500 Максимальное расстояние между источником 2 электромагнитных волн и облучаемой поверхэлектромагнитных волн о) (v ,Т) = 8 л гЯ/С х ностью не превышает 1,5 м. Поверхность х (е-^-у-- 1), облучают равномерно во избежание миграции удаленных молекул по очищаемой поГде v= С/А Х-уХ= 1/3700 см* 1 - 2,7х 6 8 1 6 х Ю м, v = 2,99'10 м с" :2,7'10 м - 1.1х 10 верхности с удельным потоком2на подложку (площадью 0,01 м2) W = 0,5*10" Дж-м-с"1. 1 4 ' Данные соотношения значительно сниhv постоянная Планка (hv =6,6254* 34 жают энергозатраты по сравнению с извехЮ' Дж-с). стным способом и позволяют разрушить не К - постоянная Ьольцмана (К = 1,38 х только химические, но и адсорбционные у1П Лж К I связи молекул с поверхностями, подлежаT^btX- [закон Вина),Т = 0,002898 м х щими очистке, за счет резонанса колебаний. х град/2.7.10"13 м - 1073 К. 10 2 Формула изобретения Подставляя найдем 0)= 18*10~ Дж*м~ ' Способ очистки поверхности подложек, тогда W - 18-10 1 0 Дж-м 2 х 2,99'10^м-с"1х 20 включающий ИК-облучение поверхности с хП 01 м ~ 0 54 Ю Дж-'М-с разрывом связей сорбированных молекул с П р и м е р Очищают подложки в вакуповерхностью подложек, о т л и ч а ю щ и й умной камере, откачанной до давления с я тем, что, с целью снижения энергозат1,33'10 Па. Обрабатываемую поверхность рат, облучение осуществляют электромаг(аморфную, поликристаллическую или монитными волнами с длиной волны, равной нокристаллическую) облучают электромагдлине собственных валентных колебаний нитными волнами с длиной волны, равной сорбированных молекул, и удельным потособственной длине валентных колебаний ком энергии не менее 0,5-10 Дж-м.с"1. сорбционных связей молекул водяных па \ Редактор М Кузнецова Составитель С Мирошкин Техред М Моргентал Корректор А. Осауленко Заказ 1081/ДСП Тираж 333 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101