Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Пристрій для випарування матеріалів, що складається із технологічної камери, в якій розміщено тигель з встановленим над ним колектором пари, і розташованих ззовні послідовно функціонально з'єднаних нагрівника, мікропроцесорної системи керування нагрівником і системи контролю стану процесу, який відрізняється тим, що в нього введено ваговий тензометричний сенсор, розташований над технологічною камерою в окремому корпусі, з зондом, розміщеним всередині технологічної камери, причому вихід вагового тензометричного сенсора з'єднаний зі входом системи контролю стану процесу.

Текст

Пристрій для випарування матеріалів, що складається із технологічної камери, в якій розміщено тигель з встановленим над ним колектором 3 37466 з'єднаний зі входом системи контролю стану процесу. На креслені представлена структурна схема пропонуємого пристрою, де позначено: 1 - нагрівник; 2 - тигель; 3 - мікропроцесорна система керування нагрівником 1; 4 - колектор пари; 5 - технологічна камера; 6 - система контролю стану процесу; 7 - ваговий тензометричний сенсор (ВТС); 8 - корпус; 9 - зонд. При цьому тигель 2 і розміщені над ним колектор пари 4 та зонд 9 знаходяться в технологічній камері 5. А нагрівник 1, мікропроцесорна система керування нагрівником 3, функціонально зв'язана з нею система контролю стану процесу 6, корпус 8 і встановлений в ньому ВТС 7 розміщені зовні технологічної камери 5, причому вихід ВТС 7, зв'язаний зі входом системи Комп’ютерна в ерстка Л. Купенко 4 контролю стану процесу 6, а ви хід мікропроцесорної системи керування нагрівником 3 зв'язаний зі входом керування нагрівника 1. Пристрій працює наступним чином. Під час проведення процесу пара матеріалу з тигля 2 осаджується на колекторі пари 4 і зонді 9. Технологічна камера 5 та корпус 8 є вакумованими об'ємами. При отримані сигналу від ВТС 7, про зміну ваги нанесеного на зонді 9 і відповідно на колекторі пари 4 покриття, система контролю стану процесу 6 здійснює через мікропроцесорну систему керування нагрівником 3 відповідно до програми заданого технологічного процесу вплив на нагрівник 1, результатом якого є підтримка стану процесу в рамках заданих те хнологічних умов. Підписне Тираж 28 прим. Міністерство осв іт и і науки України Держав ний департамент інтелектуальної в ласності, вул. Урицького, 45, м. Київ , МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислов ої в ласності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Device for vaporation of materials

Автори англійською

Krynochkin Roman Volodymyrovych, Novikov Anatolii Oleksandrovych

Назва патенту російською

Устройство для выпаривания материалов

Автори російською

Криночкин Роман Владимирович, Новиков Анатолий Александрович

МПК / Мітки

МПК: C23C 14/00

Мітки: пристрій, матеріалів, випарування

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-37466-pristrijj-dlya-viparuvannya-materialiv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Пристрій для випарування матеріалів</a>

Подібні патенти