Пристрій для випарювання матеріалів

Пристрій для випарювання матеріалів, що складається з технологічної камери, в якій розмі щений нагрівник, тигель, колектор пари, мікропроцесорної системи керування нагрівником і системи вимірювання і контролю густини пари, які встановлені зовні технологічної камери, який відрізняється тим, що в тигель та колектор пари введені калориметричні вимірювачі потужності нагрівника та колектора пари, виходи яких з'єднані з входом мікропроцесорної системи керування нагрівником. Корисна модель відноситься до вакуумної техніки, зокрема до пристроїв для випаровування та нанесення покриттів у вакуумі. Відомий пристрій для випарювання матеріалів в вакуумі [Авт. свід СРСР №1496308, кл. С23С14/52, 1989р., бюл №27] Система складається із технологічної камери, нагрівника, тигля, системи керування нагрівником, колектора пари та системи вимірювання і контролю густини пари, у вигляді оптичної системи, що включає джерело електромагнітного випромінювання видимого або ультрафіолетового діапазону, системи опромінення пари цим випроміненням та системи порівняння цього потоку випромінення з еталонним. При цьому вихідний сигнал оптичної системи вимірювання і контролю подається на вхід системи керування нагрівником. міненням, системи контролю густини потоку. Нагрівник, тигель і колектор пари, що знаходиться над тиглем, розміщені у технологічній камері. Система керування нагрівником та система вимірювання і контролю густини пари знаходяться ззовні технологічної камери. Принцип роботи пристрою заснований на пропусканні пари матеріалу через зону, в якій пару опромінюють світловим потоком, а в якості сигналу, інформуючого про густину пари використовують виникаюче при цьому випромінення При цьому вихідний сигнал оптичної системи вимірювання і контролю подається на вхід системи керування і використовується для керування нагрівником. Недоліком даного пристрою є складність системи контролю густини пари, що пов'язана з необхідністю монтування додаткових вакуумних вікон, через які оптичний сигнал попадає до технологічної камери і виходить з неї. Крім того вакуумні вікна з часом втрачають прозорість, що ускладнює роботу системи. Найбільш близьким до пристрою, що заявляється є система [Патент ФРГ №2700979, кл. С23С13/08, 1979], що складається із технологічної камери, нагрівника, тигля, системи керування нагрівником, колектора пари та системи вимірювання і контролю густини пари у вигляді оптичної системи, що включає джерело електромагнітного випромінювання видимого або ультрафіолетового діапазону, системи опромінення пари цим випро Недоліком даного пристрою є складність системи контролю густини пари, що пов'язана з необхідністю монтування додаткових вакуумних вікон, через які оптичний сигнал попадає до технологічної камери і виходить з неї'. Крім того вакуумні вікна з часом втрачають прозорість, що ускладнює роботу системи В основу корисної' моделі поставлено задачу спрощення пристрою для випарювання матеріалів, шляхом використання, для керування нагрівником, вихідних сигналів калориметричних вимірювачів потужності нагрівника та колектора пари, які додатково введені в пристрій для випарювання матеріалів Задача вирішується тим, що в пристрій для випарювання матеріалів, що складається з, технологічної камери, в якій розміщено нагрівник, тигель, колектор пари та мікропроцесорної системи керування нагрівником, і системи" вимірювання і 10471 контролю густини пари, які встановлені зовні технологічної камери, згідно корисної моделі введені в тигель та колектор пари калориметричні вимірювані потужності нагрівника та колектора пари, виходи яких з'єднані з входом мікропроцесорної системи керування нагрівником. На кресленні представлена структурна схема пристрою, що пропонується, де позначено: 1 - нагрівник; 2 - тигель; 3 - мікропроцесорна система керування нагрівником 1; 4 - колектор пари; 5 технологічна камера; 6, 7 - калориметричні вимірювачі потужності нагрівника 1 і колектора пари 4. При цьому нагрівник 1, тигель 2, і розміщений над ним, колектор пари 4 знаходяться в технологічній камері 5. А мікропроцесорна система керування Комп'ютерна верстка А. Рябко нагрівником 3, та калориметричні вимірювачі потужності нагрівника і колектора пари 6 і 7 розміщені зовні технологічної камери 5, причому виходи калориметричних вимірювачів потужності нагрівника і колектора пари 6 і 7, зв'язані з входом мікропроцесорної системи керування нагрівником 3. Пристрій працює наступним чином. При отриманні сигналу від калориметричних вимірювачів потужності 6 та 7, про зміну потужності, що відводиться від тигля 2 і колектора пари 4, мікропроцесорна система керування нагрівником 3, змінює відповідну напругу або струм на нагрівнику 1, що призводить до зміни потужності нагрівника 1 і збереження стабільності потоку пари в просторі технологічної камери 5. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул Урицькогс, 45, м. Київ, МСП, D3680, Україна ДП "Український інститут промислової власності", вул. Глазунова, 1, м. Київ-42, 01601