Контактний зондувальний пристрій
Номер патенту: 4739
Опубліковано: 15.02.2005
Автори: Готра Зенон Юрьєвич, Лозинський Юрій Теодорович, Плотніков Федор Анатолійович
Формула / Реферат
Контактний зондувальний пристрій, що містить підкладку з нанесеними виводами з контактними елементами, який відрізняється тим, що підкладка виконана пружною, оптично прозорою, виводи виконані плівковими планарними, а контактні елементи - у вигляді металічних півсфер.
Текст
Контактний зондувальний пристрій, що містить підкладку з нанесеними виводами з контактними елементами, який відрізняється тим, що підкладка виконана пружною, оптично прозорою, виводи виконані плівковими планарними, а контактні елементи - у вигляді металічних півсфер. Корисна модель відноситься до мікроелектроніки і може бути використана при виготовленні гібридних інтегральних схем. Відомі різні конструкції пристроїв контактування з тонкоплівковими елементами інтегральних схем (1С) - утворенням нероз'ємних з'єднань, електроним променем, використанням провідних еластомірів Найбільш близьким за технічною суттю до заявленого пристрою є контактний зондувальний пристрій, що містить підкладку, виводи з контактними елементами, [патент США №3056881]. Однак така конструкція зондувального пристрою не дозволяє створити надійний контакт і уникнути механічних пошкоджень плівок елементів 1С голчастими зондами, вимагає дуже точної настройки для забезпечення надійного контакту і виключає технологічну обробку елементів 1С лазерним променем, так як є системою радіально розміщених зондів з голчастими щупами. При контактуванні з елементами 1С всі щупи одночасно спускаються на мікросхему Привід масивної основи, на якій встановлено від 3 до 60 зондів, здійснюється прецензійним механізмом в режимі ручного або автоматичного керування. В основу корисної моделі поставлене завдання створення контактного зондувального пристрою, у якому нове виконання підкладки та контактів дозволило б підвищити надійність контакту, і за рахунок цього підвищити ефективність використання великих інтегральних схем (ВІС) Поставлене завдання вирішується тим, що в контактному зондувальному пристрої, який містить підкладку, з нанесеними виводами з контактними елементами, згідно корисної' моделі, підкладка виконана пружною, оптично прозорою, виводи виконані плівковими планарними, а контактні елементи у вигляді металічних півсфер. Виконання підкладки та планарних виводів дає можливість підвищити надійність контакту та виключити механічні пошкодження і забезпечити можливість візуального контролю в процесі технологічної обробки лазерним променем ВІС. На ФІг.1 зображений контактний зондувальний пристрій, Фіг.2 - схема, яка ілюструє роботу даного пристрою, де' 1 - підкладка, 2 - виводи, 3 - контактні елементи, а також 4 - основа ВІС, 5 - тонкоплівковий провідник, 6 - обойма, 7 - скляна кришка, 8 штуцер, 9 - тоикоплівковий елемент, що обробляється,10 - промінь лазера Контактний зондувальний пристрій містить підкладку 1, з нанесеними виводами 2 з контактними елементами 3, підкладка виконана пружною, оптично прозорою, виводи 2 виконані плівковими планарними, а контактні елементи 3 у вигляді металічних натвсфер. Контактний зондувальний пристрій встановлюється в обоймі 6 з штуцером 8 подачі повітря, верхнє вікно якої закрито скляною кришкою 7. Запропонований пристрій використовується так. На діелектричну основу ВІС 4 нанесені елементи гібридної інтегральної схеми 5, до яких необхідно здійснити електричний контакт. Над схемою встановлюється запропонований пристрій Після візуального контролю правильності суміщення контактних елементів з точками, з якими со 4739 необхідно здійснити контакт, через штуцер 8 проводиться піддув повітря до тиску, яке забезпечує щільний і плавний притиск металічних напівсфер З до провідних елементів 5 мікросхеми. Після цього до виводів 2 під'єднують вимірюючий пристрій для здійснення моніторингу параметрів тонкоплівкового елемента 9 і виконується технологічна обробка його, яка контролюється, енергією променя лазера 10. ФІГ. 1 Фіг. 2 Комп'ютерна верстка В Мацело Підписне Тираж 37 прим Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул Урицького, 45, м Київ, МСП, 03680, Україна ДП "Український інститут промислової власності", вул. Глазунова, 1, м Київ-42, 01601
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюContact sounding device
Назва патенту російськоюКонтактное зондировочное устройство
МПК / Мітки
МПК: H01L 21/02
Мітки: пристрій, зондувальний, контактний
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-4739-kontaktnijj-zonduvalnijj-pristrijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Контактний зондувальний пристрій</a>
Попередній патент: Барабанний магнітний сепаратор
Наступний патент: Кінцева частина високовольтного плавкого запобіжника
Випадковий патент: Спосіб переробки плаценти