Пристрій для електронно-променевої обробки виробів

Пристрій для електронно-променевої обробки виробів, який вміщує електронну гармату з приводом, а також теплові екрани з нагріваючими елементами і блок транспортування виробів, який відрізняється тим, що піч нагріву і піч охолодження виробів розташовані симетрично відносно електронної гармати, на одній прямій паралельно траєкторії руху виробів І можуть працювати незалежно в різних температурних режимах, а теплові екрани печей захищають електронну гармату від температурного впливу нагрівачів. Корисна модель відноситься до електроннопроменевої техніки і технології і може використовуватися при розробці установок для обробки поверхонь виробів електронним пучком з попереднім нагрівом у вакуумі. Відомий пристрій для електронно-променевого полірування виробів складається з електронної гармати, катод якої має ниткоподібний вигляд І який встановлений вертикально, блока завантаження виробів, який виконано у вигляді каруселі з горизонтальною віссю обертання [1]. Пристрій не передбачає попереднього розігріву і охолодження виробів в технологічному циклі обробки, що може призвести до їх руйнування в результаті термічного удару електронним пучком. Найбільш близьким за технологічною сутністю до пропонуємого винаходу є пристрій для електронно-променевої' обробки виробів [2], який має встановлену у вакуумній камері рухому електронну гармату із стрічковою формою пучка, піч попереднього нагріву і охолодження виробів, яка складається з нагріваючих елементів та багатошарових теплових екранів При цьому електронна гармата встановлюється всередині теплових екранів, а привід її переміщення розташовано у щілині екранів, яка виконана з додатковими шторками. безпечує рівномірного попереднього нагріву і охолодження виробів, у зв'язку з тим, що механізм руху виробів побудовано по круговій системі обертання І при виході на позицію для електроннопроменевої обробки температура виробу зменшується. Разом з тим, електронна гармата, яка знаходиться в середині екранів, тобто у зоні високих температур, які сягають значень 300-800°С, при обробці виробів може змінювати свої електроннооптичні параметри в результаті термічного розширення складових частин з яких вона побудована (модулятора, анода і систем кріплення). В основу корисної моделі поставлено задачу вдосконалення пристрою для електроннопроменевої обробки виробів, рішення якої досягається шляхом незалежності процесів нагріву і охолодження виробів при електронно-променевій обробці, чого достатньо для забезпечення технічного результату. Технічним результатом є підвищення якості виробів, які оброблюються стрічковим електронним пучком за рахунок стабілізації теплових умов попереднього нагріву виробів, роботи електронно-променевої гармати і охолодження виробів після електронно-променевої обробки. Корисна модель пояснюється кресленням (Фіг) на якому схематично зображено пристрій для електронно-променевої обробки виробів Пристрій знаходиться у вакуумній камері 1 і Недоліком цього пристрою є те, що він не за CM ю 4752 складається з печі нагріву 2 і печі охолодження З, електронно-променевої гармати 4, нагрівачів 5, за допомогою яких нагріваються вироби 6, блоку транспортування виробів 7, теплових екранів 8. Пристрій працює наступним чином. У вакуумній камері 1 створюють робочий вакуум 10 2 -10^Па. Вироби 6 перед електроннопроменевою обробкою знаходяться в зоні печі попереднього розігріву 2 і до необхідної температури розігріваються нагрівачами 5. Нагрівачі 5 розташовані в печах попереднього розігріву і охолодження таким чином, щоб забезпечити рівномірний і однаковий за температурами нагрів виробів 6 Екрани 8 печі попереднього розігріву і печі охолодження мають багатошарову конструкцію і забезпечують термоізоляцію виробів від вільного об'єму вакуумної камери. Переміщаючись після попереднього нагріву за допомогою блока транспортування виробів 7 вироби виходять з печі 2 І попадають під дію електронного потоку гармати 4. Інтенсивність потоку і швидкість переміщення виробів під потоком забезпечує необхідні умови термічної дії" потоку на матеріал (оплавлення поверхневого шару або його випаровування). Пройшовши термічну обробку електронним променем вироби потрапляють в піч охолодження 3, де охолоджуються необхідний час. Температура в печах регулюється електронними термозадатчиками, наприклад РИФИ01. ©о о Комп'ютерна верстка Н Лисенко о Перевагами даного пристрою над прототипом є: 1) конструкція печі забезпечує більш однорідне температурне поле, що підвищує якість обробки електронним потоком; 2) печі попереднього нагріву виробів і охолодження можуть при необхідності працювати в автономних режимах, тобто незалежно однин від одного При цьому, при попередньому розігріві виробів можна задати один температурний профіль, а при охолодженні виробів з метою регулювання якості обробки, можна використати інший температурний профіль Таким чином при наявності печі нагріву і печі охолодження виробів, які розташовані окремо одна від одної і на одній прямій з траєкторією руху виробів і які можуть працювати в різних температурних режимах, стабілізуються теплові умови попереднього нагріву виробів, роботи електронної гармати і охолодження виробів після електроннопроменевої обробки. Пристрій для електронно-променевої обробки виробів може бути використаний для гнучкої термічної' вакуумної обробки оптичних матеріалів в оптиці, мікрооптиці, інтегральній оптиці. Джерела інформації: 1. Авторское свидетельство СССР №1598760, кл. H01J37/305, C03B29/00. 2. Авторское свидетельство СССР №1711627, кл. H01J37/305 о\*І*/Ь о Підписне Тираж 37 прим Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул Урицького, 45, м Київ, МСП, 03680, Україна ДП "Український інститут промислової власності", вул. Глазунова, 1, м Київ - 4 2 , 01601