Аморфний сплав

Аморфний сплав для тонкоплівкових резисторів, що містить нікель, який відрізняється тим, що він додатково містить срібло при наступному співвідношенні компонентів ( ат %) срібло 28,0 39,0 нікель решта Винахід відноситься до області розробки сплавів з прецизійними значеннями величини температурного коефіцієнту опору (ТКО), які використовуються в мікроелектроніці з метою отримання тонкоплівкових резисторів (ТПР) з поверхневим електроопором від десятків до сотень Ом/квадрат ВІДОМІ ТПР із сплавів на основі перехідних і тугоплавких металів [1 Авт свид СССР №1636466А1, кл С22с21/00, Н01С7/06.1988 2 Авт свид СССР №1654361А1, кл, С22с27/02, Н01С7/06, 1989 -аналог] Плівки, ЯКІ отримані з цих сплавів, мають порівняно широкі діапазони поверхневого опору (Rs) та задовільні ТКО у межах и 10 5 7 * 10 5 К Однак вимоги щодо прецизійності величини ТКО постійно підвищуються Найбільш близький до заявленого за ХІМІЧНИМ складом і електричними властивостями є сплав (мас %), нікель 44,5 ,58,0, вольфрам 0,2, 5,5, алюміній - решта ( Авт Свид СССР №1574663А1, С22с19/00, 1988 - прототип) Цей сплав має у свіжо напиленому стані ТКО « - 4 - 105К~1 Для тонких вимірювань в прецизійних елементах мікросхем необхідно добиватися ще більшого зменшення до нуля ТКО В основу винаходу поставлена задача вдосконалення аморфного сплаву для тонкоплівкових резисторів шляхом введення срібла в співвідношенні, що забезпечить поліпшення електрофізичних характеристик Поставлена задача вирішується тим, що в аморфний сплав, який вміщує нікель, додатково введено срібло при наступному співвідношенні компонентів(ат %) срібло - 28,0 39,0, нікель решта Порівняльний аналіз з прототипом показує, що заявлені сплави в аморфному стані невідомі, таким чином заявлене технічне рішення відповідає критерію *новизна* Аналіз відомих сплавів ТПР [1 Готра З Ф Многокатодное распыление, как метод создания низкоомных ТПР - В кн Новые материалы для микроэлектрони - КН - ИПМ АН УССР -1983 -С 71 -78 2 Кондратов Н М Резистнвные материалы, ЦНИИ *3лектроника* - М сер 6 -1979 - с 1 - 35 3 Скобленко А В Материалы и методы получения высокостабильных юнкопланочных резисторов микросхем - Зарубежная электронная техника - ЦНИИ *Электроннка* - М 1982 - №8 с 27 - 59 4 SumiyamaiL Non - equilibrium Phases in Vapour Quenched Alloys - Dept of Met Sci and Technol - Kyoto Umv - 1986 - v 25, - N 7 -p 615 1 7] свідчить, що компоненти, які введені в заявлене технічне рішення ВІДОМІ, але з - за їх практично взаємної нерозчинності у твердому стані при кімнатних температурах сплави нікель - срібло в техніці мікроелектроніки невідомі Напилені іонно плазмовим методом плівки нікель - срібло заявлених складів, що отримані в аморфному стані, мають ТКО и (1,7 2 , 2 ) * 1 0 6 К 1 Даний склад компонентів надає отриманому аморфному сплаву нові корисні властивості, що дозволяє зробити висновок про ВІДПОВІДНІСТЬ заявленого технічного о> ю 52279 резисторів за рахунок наближення до нуля ТКО і рішення критерію суттєві відзнаки сприяти поліпшенню роботи пасивних елементів Іонно-плазмове напилення здійснювалося на мікросхем установці УРМ 3 279 014 при наступних режимах напруга на мозаїчній мішені - 2кВ, анодний струм Таблиця 1А Струм розряду 20мА, час напилення 360с Контроль за ступенем аморфізацм плівок здійснювали на дифрактометрі ДРОН-2 0 та за Склади сплавів та їх електричні властивості допомогою чотиризондового методу вимірювання електроопору у процесі неперервного нагрівання у Склад, ат Rs № ТКО, 1 0 6 К 1 Стан вакуумі Мозаїчна мішень представляє набір %Ад Ом/квад квадратів (46од) розміром 20 х 20 х 5мм чистих 1 27 23 4,7 А+ К металів, що рівномірно розташовані по площині 2 28 41 2,1 А розпилення Квадрати металів були ізольовані 3 33 40 А 1,7 один від іншого екраніруючими барьєрними 4 39 38 2,2 А комірками, які знаходилися під потенціалом аноду, 5 41 14 5,0 А+ К тобто мали різницю потенціалу відносно мішені Примітка А, А + К - ВІДПОВІДНО аморфна та 2кВ і служили додатковими прискорювачами з-за аморфно кристалічна виникаючої неоднорідності електричного поля структури ІОНІВ робочого газу аргону, які розпиляли мішень Завдяки додатковим прискорювачам кінетична Введення у склад срібла забезпечує енергія ІОНІВ, що розпилюють мішень зростає у 5 отримання аморфної структури і добру схильність 6 разів і надає можливість отримувати поверхні плівок до паяння, наявність нікеля метастабільну аморфну структуру в сплавах з збільшує адгезію до підкладок до значень > практично нульовою взаємною розчинністю 900г/мм2 і забезпечує високу корозійну СТІЙКІСТЬ компонентів, У таблиці наведені склади сплавів та напилених плівок Ефект від реалізації технічного їх властивості Як видно з таблиці, оптимальнийрішення міститься у достатньо легкій можливості склад, необхідний для досягнення задачі отримання у природних умовах однорідних винаходу, відповідає номерам № № 2 - 4 аморфних сплавів в системах, де компоненти Плівки ІЗ заявлених сплавів можуть практично взаємо не змішуються у рідкому стані, застосовуватися при виготовленні середньоомних зменшенні габаритних розмірів пасивних прецизійних резисторів в мікросхемах Порівняно з елементів мікросхем прототипом заявлені склади дозволяють досягати більш прецизійних значень ТКО плівкових ДП «Український інститут промислової власності» (Укрпатент) вул Сім'ї Хохлових, 15, м Київ, 04119, Україна ( 0 4 4 ) 4 5 6 - 2 0 - 90 ТОВ "Міжнародний науковий комітет" вул Артема, 77, м Київ, 04050, Україна (044)216-32-71