Спосіб виготовлення диска-оригіналу для тиражування компакт-дисків

Спосіб виготовлення диска-оригіналу для тиражування компакт-дисків, за яким наносять на підкладку захисний шар радіаційночутливото матеріалу, опромінюють шар модульованим актинічним випромінюванням, вилучають шар радіаційночутпивого матеріалу в опромінюваних місцях, який відрізняється тим, що підкладка виготовлена з монокристалічного кремнію і крізь вилучені ділянки захисного шару радіаційночутливого матеріалу вилучають частини електропровідного шару моно кристалічного кремнію. ' Винахід належить до обчислювальної техніки та технології виготовлення компакт-дисків. За технологічним процесом виготовлення компакт-дисків інформація, яка має бути записана на компакт-диск, попередньо записується на дискоригінал. На диску-орипналі формується рельєфне мікрозображення відповідно до записаної інформації. Із рельєфного мікрозображення виготовляють металеві копії, які потім використовуються для штамповки компактдисків. Однією з головних задач в технології виготовлення компакт-дисків є одержання рельєфного мікрозображення на поверхні дискаоригіналу. Відомий спосіб виготовлення диска-оригіналу для тиражування компакт-дисків [1], в якому на поверхню скляної підкладки наносять шар радіаційночутливого матеріалу. Опромінюють шар радіаційночутливого матеріалу в окремих точках, вилучають його в опроміненних місцях, наносять шар металу на утворену структуру. Недоліком цього способу - аналога є те, що з диска-оригіналу може бути зроблена тільки одна гальванокопія, крім того використання тонкої металевої плівки при вирощуванні нікелевого штампу примушує обмежувати значення анодного струму на першому етапі росту нікелевого штампу, що призводить до збільшення часу виготовлення нікелевого штампу. Відомий також спосіб [2], який дозволяє отримувати рельєфне зображення на поверхні підкладки диска-оригіналу, що складається з того, що на поверхню підкладки диска-орипналу послідовно наносять електропровідний шар нітриду титану, шар радіаційночутливого матеріалу; опромінюють цей шар; вилучають його в опромінюваних місцях та вилучають частини шару нітриду титану. Запис інформації на дискоригінал може здійснюватися актинічним лазерним випромінюванням або потоком електронів. Недоліком цього способу - прототипу є низька технологічність виготовлення, яка зумовлена тим, що для формування мікрорельєфу в електропровідному шарі використовується операція нанесення додаткового шару, яка не може бути виконана в єдиному технологічному циклі з іншими операціями. В основу винаходу поставлено задачу підвищення технологічності виготовлення дискаоригіналу в процесі виробництва компакт-диска. Поставлена мета вирішується таким чином: в запропонованому способі виготовлення дискаоригіналу, що базується на нанесенні на підкладку радіаційночутливого шару, опромінюванні шару модульованим актинічним випромінюванням, вилученні його в опромінюванних місцях; пропонується підкладку виготовляти з моно кристалічного кремнію і через захисний шар радіаційночутливого матеріалу здійснювати вилучення частини електропровідного шару кремнію. Виготовлення підкладки диска-орипналу з монокри стал іч ного кремнію дозволить підвищити якість виготовлення диска-оригінапу за рахунок CM О со СО Ю 53637 формують рельєфне зображення(поз.З) в високої якості поверхні монокристалічного результаті запису інформації і селективного кремнію. Головне полягає в тому, що досить вилучення частини шару радіаційночутливого висока електропровідність легованого кремнію матеріалу. Через захисний шар дозволяє вирощувати шар нікелю безпосередньо радіаційночутливого матеріалу здійснюється на його поверхні: без застосування металізації вилучення частини кремнійової підкладки на рельєфного зображення на поверхні дисказадану глибину(100 - 150)нм (поз.4). оригіналу або додаткового шару з низьким електричним опором. Частково радіаційночутливий матеріал вилучається в процесі обробки кремнію, а Підкладка з кремнію виготовляється товщиною залишки(поз.б) додатково вилучаються перед 1,2 - 3,0мм, що забезпечує високу механічну установленням в гальванічну ванну. Головна Ідея міцність диска-оригіналу. Строк зберігання дисказапропонованого способу полягає в використанні оригіналу: кремнійової підкладки з рельєфним електропровід но го(< ЮОм/см) монокристалічного зображенням майже не обмежений в часі. Метал кремнію, на якому традиційними методами штампу(нікель) може осаджуватися на поверхню формується мікрорельєф, який можна копіювати диска-оригіналу багаторазово, що виключає методами гальванопластики з високою швидкістю необхідність виготовлення проміжних копій. Струм процесу. в процесі вирощування гальвано штам па в початковий період може бути збільшений в 5 - 10 1. Оптичні ДИСКОВІ системи: Переклад з разів. Це дозволяє скоротити час виготовлення англ./Г. Боухьюз, Дж. Браат, А. Хейсер та інші. - М. штампів. Радіо та зв'язок, 1991. - 280с. Даний винахід пояснюється кресленнями, де 2. Заявка 2716563 Франции Способ на фіг. зображена схема процесу одержання изготовления форматированных основ с заранее рельєфного мікрозображення на поверхні дискананесенной сигналограммой для производства оригіналу. компакт-дисков или матриц, используемых для штамповки компакт-дисков. (20) 21.02.94. (71) S A На підкладку з кремнію(поз.і) наносять шар DIGIPRESS. МКИ 6 G11В 7/26. радіаційночутливого матеріалу(поз.2), на ньому Фіг. ТОВ "Міжнародний науковий комітет" вул. Артема, 77, м. Київ, 04050, Україна (044)236 - 47 - 24