Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Стекло для межслойной изоляции, включаю­щее MgO, BaO, Аl2О3, В2О3, P2O5, отличающееся тем, что, с целью снижения температурного коэф­фициента линейного расширения и диэлектриче­ской проницаемости покрытия при обеспечении температуры начала его деформации не ниже 850°С, дополнительно содержит Lа2О3 при следу­ющем соотношении компонентов, маc. %:

MgO                                       2,0 - 14,5

BaO                                        8,7 - 12,35

Аl2О3                                                        30,0 - 35,2

В2О3                                                     17,2 - 18,0

P2O5                                      19,5 - 20,0

Lа2О3                                      1,5 - 9,0

Текст

Изобретение относится к составам стекол, используемых в микроэлектронике для изоляционных стеклокристаллических покрытий ка керамических подложках. С целью снижения температурного коэффициента линейного расширения и диэлектрической проницаемости покрытия при обеспечении температуры начала его деформации не ниже 850°С стекло для межслонной изоляции содержит, мас,%: MgO 12,00-14,50; ВаО 8,70-12,35; А 1 2 0 3 30,00-35,20; Б 2 0 , 17,20-18,00; Р 2 0 $ 19,50-20,00; L a 2 0 3 1,50-9,00, 2 табл. со с Изобретение относится к составам стекол, используемых в микроэлектронике для изоляционных стеклокристаллических покрытий на керамической подложке. Цель изобретения - снижение температурного коэффициента линейного расширения и диэлектрической проницаемости покрытия при обеспечении температуры начала его деформации не ниже 850°С. Конкретные составы стекол приведены в таблице. Шихту стекла готовят из оксидов магния и алюминия, карбонатов бария, борной кислоты, фосиата магния (MgjHPO^• ЗН^О) и оксида лантана, тщательно перемешивают и варят в корундовых тиглях при 1400-1500°С в течение 2 ч. Готовую стекломассу 4-91 подвергают мокрой грануляции, фритту высушивают, измельчают в планетарной мельнице (размер частиц не более 10 мкм) в изопроггилоБом спирте. Затем производят сушку полученного н т - ии* кера с целью удаления спирта (t = = 150°С), добавление поливинилового спирта (связка) и формовку образцов для определения свойств. [Толучс і ь е кі образцы спекают, плавно повышая температуру в муфеле до 850°С, (выдержка 15 мин), а затем охлаждают вместе с муфелем. Тонкоизмел'ьченное стекло используют длч стеклокристаллических изоляционных покрытий по керамике (ВК94-1). Из данных таблиц следует, что описываемое стекло позволяет получить электроизоляционные стеклокристаллические покрытия с ТКЛР, близким ТКЛР 1624928 подложки, диэлектрической проницаемостью 6,06-6,37, и температурой начала деформации >850°С. 30,0-35,2 17,2-18,0 19,5-20,0 1,5-9,0 ф о р м у л а Таблица и з о б р е т е н и я Стекло для межслойной изоляции, включающее MgO, ВаО, А12С^ , & 2 0э, Р205, о т л и ч а ю щ е е с я тем, 10 что, с целью снижения температурного коэффициента линейного расширения и диэлектрической проницаемости покрытия при обеспечении температуры начала его деформации не ниже 850 С, Ї5 дополнительно содержит La^O-g при следующем соотношении компонентов,мае.%: MgO 12,0-14,5 ВаО 8,7-12,35 Оксид Содержание компонента, мае.%, в составе 1 12,00 8,70 MgO ВаО А1 2 0 э •33,60 в 2Оу о Р 3 1 2 Із 13,35 12,35 35,20 18,00 19,60 1,50 14,50 10,00 30,0 17,50 20,00 8,00 2 г Состав стекла ТКЛР, t0 o 1/град f (t « 850°С, £ = 1 5 мин) в интервале 20-400°С Температура начала деформации, °С Диэлектрическая проницаемость, (£ = 1 кГц, t = ?0°С) Редактор Е.Зубиетова 1лг03 17,20 19,50 9,00 Т а б л и ц а Свойства IZ1 75,3 69,8 73,2 850 850 850 6,06 6,37 6,12 Составитель Г.Вуровцева Техред М.Дидык Корректор М.Демчик Заказ 456/ДСП Тираж Подписное В И П Государстеенного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР НИИ 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д . 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101 4W і t

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Glass for the layer insulation

Автори англійською

Bilyi Yakiv Ivanovych, Holeus Viktor Ivanovych, Maksymovych Svitlana Illivna, Kozyrieva Tetiana Ivanivna, Soprun Olena Petrivna

Назва патенту російською

Стекло для межслойной изоляции

Автори російською

Белий Яков Иванович, Голеус Виктор Иванович, Максимович Светлана Ильивна, Козырева Татьяна Ивановна, Сопрун Елена Петровна

МПК / Мітки

МПК: C03C 3/12, C03C 8/24

Мітки: ізоляції, скло, міжшаркової

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-7350-sklo-dlya-mizhsharkovo-izolyaci.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Скло для міжшаркової ізоляції</a>

Подібні патенти