Інтерферометр для діагностики плазми

Інтерферометр для діагностики плазми, що містить НВЧ-генератор, модульований по частоті генератором пилкоподібної напруги, спрямований відгалужувач, НВЧ-детектори, з'єднані з електронним блоком, формувач опорного сигналу проміжної частоти, вимірювальний нерівноплечій хвилевідний міст, що містить антенну систему, який відрізняється тим, що у формувачі опорного сигналу проміжної частоти після спрямованого відгалужувача перед НВЧ-детектором встановлений об'ємний резонатор. (19) (21) 20040402872 (22) 20.04.2004 (24) 17.07.2006 (46) 17.07.2006, Бюл. № 7, 2006 р. (72) Нагорний Дмитрій Анатолійович, Нагорний Анатолій Григорович (73) Інститут прикладної фізики НАН України (56) SU 1351388, 23.10.1986 SU 1252715, 23.08.1986 SU 1216714, 07.03.1986 SU 1215021, 28.02.1986 DE 4300949, 26.05.1994 JP 2000266692, 29.09.2000 Малых Н.И., Ямпольский Е.С., Гаранжа И.Н. и др. Трехканальный интерферометр 2-мм диапазона 3 76202 4 об'ємного резонатора, налаштованого на несучу вимірювальний. Опорний НВЧ сигнал подається у частоту НВЧ генератора, відносно якої здійснюформувач опорного сигналу проміжної частоти 4 ється частотна модуляція, забезпечує високу стата через об'ємний резонатор 5, включений за пробільність початкової різниці фаз опорного і виміхідною схемою, надходить на детектор 6. Резонарюваного сигналів, оскільки зсув несучої частоти тор 5 налаштований на частоту, близьку до несугенератора НВЧ однаковим чином позначається чої частоти НВЧ генератора 1. У цьому випадку на на фазах сформованих сигналів. Крім того, у такодетекторі 6 утворяться піки напруги, частота пому формувачі забезпечується зменшення втрат вторювання яких дорівнює частоті пилкоподібної потужності НВЧ сигналу в порівнянні з нерівнопленапруги. Перша гармоніка цієї напруги використочім хвилевідним мостом, за рахунок істотного сковується як опорний сигнал проміжної частоти. Змірочення шляху поширення НВЧ сигналу. нюючи частоту налаштування об'ємного резонатоВикористання всіх істотних ознак, включаючи ра, можна регулювати фазу опорного сигналу. відмітні, дозволяє одержати простий по конструкції Вимірювальний НВЧ сигнал надходить на випристрій з високими технічними характеристиками. мірювальний нерівноплечій хвилевідний міст 7, На Фіг. представлена структурна схема пропопроходить у ньому по короткому та довгому, що нованого НВЧ інтерферометра. містить антени 8 з плазмою 11, плечам та змішуІнтерферометр для діагностики плазми місється на детекторі 10. У разі правильного вибору тить генератор НВЧ 1, генератор пилкоподібної величини девіації частоти НВЧ генератора на денапруги 2, спрямований відгалужувач 3, формувач текторі утворюється близький до синусоїдального опорного сигналу проміжної частоти 4, що включає сигнал, перша гармоніка якого використовується об'ємний резонатор 5 і НВЧ детектор 6. Після відяк вимірювальний сигнал проміжної частоти. Фагалужувача 3 встановлений вимірювальний нерівзовий зсув сигналів проміжної частоти опорного і ноплечій хвилевідний міст 7, що містить коротке та вимірювального сигналів визначається в електдовге хвилевідні плечі, антенну систему 8 і НВЧ ронному блоці 10 та використовується для розрадетектор 9. Детектори НВЧ 6 і 9 зв'язані з електхунку електронної концентрації плазми 11. ронним блоком 10. Антенна система 9 розміщена Пропонований пристрій в порівнянні з протов зоні знаходження плазми 11. типом має наступні переваги: Інтерферометр ^працює в такий спосіб. Ви- знижуються втрати потужності НВЧ сигналу; промінювання НВЧ генератора 1 модулюється по - спрощується конструкція НВЧ інтерферомечастоті по пилкоподібному закону сигналом з гетра; нератора пилкоподібної напруги 2. Спрямований - знижується собівартість виробу. відгалужувач 3 розділяє НВЧ сигнал на опорний та Комп’ютерна верстка О. Гапоненко Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601