Спосіб термовакуумної обробки електровакуумних приладів

Спосіб термовакуумної обробки електровакуу мних приладів, який полягає втому, що проводять термообробку скляної герметизуючої оболонки електромагнггним випромінюванням, нагрівання склооболонки і внутрішніх елементів до температур їх дегазації з одночасною дегазацією електровакуумного приладу, який відрізняється тим, що нагрівання склооболонки та елементів, які знаходяться всередині електровакуумного приладу, до температур дегазації здійснюють електромагнггним випромінюванням, спектр якого знаходиться в області часткової прозорості склооболонки Винахід відноситься до області виробництва електровакуумних приладів, а саме до термовакуумної обробки електровакуумних приладів із скляною оболонкою і може бути використаний для виробництва кінескопів Однією З ГОЛОВНИХ проблем в процесі термовакуумної обробки електровакуумних приладів є відкачка з об'єму приладу газів, як вільних, так і розчинених в його внутрішніх елементах Відомий спосіб термовакуумної обробки електровакуумних приладів, який полягає в тому, що термообробку скляної оболонки та внутрішніх елементів проводять за допомогою конвективного нагріву в нагріваючій печі (Н В Черепний "Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике" "Советское радио", М , - 1967,- С 315) Однак даний спосіб термообробки електровакуумних приладів не забезпечує достатнього прогрівання внутрішніх деталей електровакуумних приладів в зв'язку з низькою теплопровідністю вакууму та відсутністю достатнього теплового контакту між оболонкою приладу та внутрішніми деталями Крім того, для металічних внутрішніх елементів електровакуумних приладів потрібна більш висока температура для дегазації, ніж для скляної оболонки приладів перед конвективним нагріванням (а с СССР №767361, кл Н 01 J 9/38, 1980) При цьому термообробку внутрішніх елементів електровакуумного приладу проводять струмами високої частоти за допомогою індукторів, розміщених на рухомій позиції конвеєрної лінії відкачки Використання індукторів із системою живлення від нерухомого високочастотного генератора приводить до ускладнення конструкції рухомої позиції конвеєрної лінії відкачки, і, як наслідок, до зниження надійності її роботи Крім того, для рівномірного нагрівання деталей складної форми значно ускладнюється конструкція самого індуктора Індукційним нагріванням цим способом не забезпечується прогрівання розміщених в середині приладу неелектропровідних деталей (скляних, керамічних і т п) до температур, необхідних для їх дегазації, внаслідок чого знижується надійність роботи електровакуумного приладу В основу винаходу поставлено задачу покращання якості термообробки внутрішніх елементів електровакуумних приладів і спрощення технологічного процесу термовакуумної обробки Поставлена задача вирішується тим, що нагрівання склооболонки та елементів, які знаходяться всередині електровакуумного приладу до температур, необхідних для дегазації проводять за допомогою електромагнггного випромінювання із спектром, який знаходиться в області часткової прозорості склооболонки Температура, необхідна для дегазації внутрішніх елементів електровакуумного приладу дося Найбільш близьким до винаходу за технічною суттю є спосіб термовакуумної обробки електровакуумних приладів, який полягає в конвективному нагріванні приладу з одночасною дегазацією, а також в додатковому нагріванні приладу до температури 170±5°С електромагнггним випромінюванням CO 00 Ю 45183 гається за рахунок вибору джерела електромагнггДжерелом електромагнггного випромінювання ного випромінювання, яке має ВІДПОВІДНИЙ спектр в даному способі служили лампи КГ 220-1000 із та інтенсивність випромінювання, а також його спеціальними рефлекторами, виготовленими з розміщення відносно електровакуумного приладу алюмінію (при довжині хвилі випромінювання 0,353,5мкм і максимальній густині в об'ємі 1,3-5Вт/см3) При цьому нагрівання внутрішніх елементів При цьому нагрівання скляної оболонки циліндра приладу має місце за рахунок випромінювання із електроннопроменевої трубки проводлося до темспектром, який знаходиться в області прозорості ператури 400°С, а внутрішніх елементів - до склооболонки, а нагрівання самої оболонки має мі750°С Одночасно мала місце дегазація приладу сце, в основному, за рахунок поглинання склом виНа фіг 1 зображена схема розміщення ламп 2 з промінювання від джерела та відбитого від внутріспеціальним рефлектором 3 відносно циліндра 4 шніх елементів (з тим же спектральним розподі(віддаль між віссю циліндра і віссю лампи складає лом), а також за рахунок поглинання випроміню6см) з внутрішніми елементами 1 На фіг 2 предвання розігрітих внутрішніх елементів, яке має ставлена крива зміни температури в часі на поверспектр випромінювання, що лежить в області об'хнях скляної оболонки та внутрішньої арматури ємного поглинання скла (ВІДПОВІДНО - суцільна та штрихова лінії) Перепад Суть винаходу пояснюється кресленням На температур між внутрішньою та зовнішньою повефіг 1 показано схему розміщення джерел випромірхнями скляної оболонки не перевищував 3°С нювання (ламп) із спеціальними рефлекторами Тобто нагрівання було практично без градієнти им відносно електровакуумного приладу На фіг 2 зображена експериментальна крива зміни темпераВикористання запропонованого способу спротури в часі на поверхні скляної оболонки та внутріщує технологічний процес термообробки, а також шньої арматури (ВІДПОВІДНО - суцільна та штриходозволяє проводити нагрівання як електропровідва лінії) них, так і неелектропровідних внутрішніх елементів електровакуумних приладів, в результаті чого Перевірка способу проводилася на кінескопах підвищується якість дегазації внутрішніх елементів 61 ЛК 4Ц, в яких за допомогою електромагнггного і, як наслідок, підвищується надійність при експлувипромінювання здійснювалось одночасне нагріатації електровакуумних приладів вання скляного циліндра без покриття та електронно-огтгичної системи в процесі відкачки ФІГ. 1 45183 ГС ьоо / / / / / / 500 / 600 і.С ФІГ. 2 ДП "Український інститут промислової власності "(Укрпатент) Україна, 04119, Киів-119, вул сім'ї Хохлових, 15 (044) 456-20-90