Спосіб контролю герметичності електровакуумних приборів

Использование: контроль герметичности электровакуумных приборов Сущность; измеряют катодный ток до прогрева электровакуумного прибора Прогревают электровакуумный прибор и повторно измеряют катодный ток после прогрева. Сопоставляют величины токоотборз в диодном режиме при номинальном напряжении накала до и после прогрева. Прогрев проводят в атмосфере водорода при температуре от 100 до 150°С в течение не менее 2 ч, Повторное измерение катодного тока осуществляют через интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева При изменении катодного тока более чем на ±20% делают вывод о негерметичности оболочки прибрра. ляется способ контроля герметичности ЭВП, включающий два последовательных замера катодного тока при номинальном напряжении накала и климатическое воздействие между этими двумя замерами, причем к годным относят приборы, у которых катодный ток при повторном измерении удовлетворяет выражению 0.9 где И - катодный ток при первом измерении; І2 - катодный ток при втором измерении. Недостатками способа являются недостаточная чувствительность, связанная с низкой проникающей способностью че 1778598 рез стенки оболочки ЭВП основных компонентов атмосферного воздуха {азот, кислород) при климатических испытаниях; оысокоя стоимость и продолжительность испытания (более48 ч), разрушающий ха- 5 рачтер ионфояя из-за коррозии материалов при длительном климатическом воздейстпии, Цель изобретения состоит в создании высокочупстпмтольного, эффективного и 10 оперативного метода выявления откачанных ЭВП, имеющих малые течи через вакуумную оболочку, находящиеся ниже порога чувствительное ні известных средств и методов течеиекппич, а также в определении 15 потенциально ненадежных прчборов, имеющих ЭРКуппреНМЬК1 1ГЧИ Поатпи'.йінпіі ІІГЛЬ достигается TfM, что по предлагаемому способу контроля ичносіи ?*ПП сначала измеряют ка- 20 и ток при номинальной напряжении накала п диодном режиме я затем осуществляют npurppft последнего з атмосфере во-* дородя при температуре от 100 до 150°Сві г течение* пс монео 2 ч, затем повторно изме- 25 ртют катодный ток через интервал времени не более 1 ч поппе окончания прогрева, а о негррмеіичности оболочки прибора делают вывод при изменении катодного гока более 30 чом на ±2П%. Изменение тока катода имеет место в случае проникновения водорода в рабочий объем прибора через дефекты конструкционных материалов и паяные соединения. Эффективность предлагаемого 35 способа обусловлена следующими обстоя-' тельсівами: подирод обладает на несколько порядков Польшей проникающей способностью через современные конструкционные материалы (металлы, различ- 40 ные типы керамики) по сравнению с другими газами; из-за значительного олияния парциального давления водорода из эмиссионную активность наиболее распространенных термокагодов (оксидных, ме- АЪ таллопористых и т.д.) имеет место резко выраженный характер изменения эмиссии катода как в сторону увеличения, так и в сторону уменьшения в зависимости от величины этого давления и технологических 50 параметров изіотопления катода; защитная атмосфера подорода при прогреве гарантирует иераорушающее воздействие контроля па конструкцию изделия. Температура прогрева должна превышать 55 100°С, что обусловлено необходимостью испарения частиц влаги, закупоривающих дефекты оболочки. Верхний предел температуры прогрева ограничен допустимым температурным диапазоном применяемых конструкционных материалов изделия. Продолжительность прогрева в водороде должна гарантировать индикацию натекания и составлять не менее 2 ч. Замер катодного тока после прогрева должен производиться с минимальным интервалом во времени, чтобы избежать поглощение водорода внутриламповыми деталями. Напряжение анода и величина тока катода при замерах выбираются для каждой конкретной конструкции ЭВП из условия минимального разогрева анода и возможного стравливающего воздействия но катод, выделяющихся газов, что могло бы привести к искажению результатов контроля. Предлагаемый способ приводит к достижению поставленной цепи, П р и м е р. На катод подавали напряжение накала 6,3 В, на анод - напряжение 200 В. Выдерживали в течение 1 мин, затем фиксировали величину катодного тока 3 мА, проводили прогрев в водороде при температуре 150°С в течение 2 ч. Прибор вынимали из водородной печи и затем вновь подэпали накал 6,3 В и анодное напряжение 200 В в течение 1 мин. Измеряли катодный ток, который составил 4 мА. Величина токоотбора изменилась в сторону увеличения на 25%. Прибор забракован из-за негерметичности оболочки. Использование предлагаемого способа неразрушающего контроля герметичности ЭВП позволяет по сравнению с существующими повысить чувствительность течеискания и выявлять приборы со скрытым браком по герметичности на конечных технологических стадиях их изготовления, что дает значительный экономический эффект. Формула изобретения Способ контроля герметичности электроеакуумных приборов путем измерения катодного тока при номинальном напряжении накала в диодном режиме, прогрева прибора, повторного измерения катодного тока поело прогрева и сравнения измеренных значений тока, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности и исключения разрушения прибора, прогрев осуществляют в атмосфере водорода при 100 - 150°С не менее 2 ч, повторное измерение катодного тока осуществляют через 5 1778598 интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева, а о негерметичности обо Редактор Л. Купрякова 6 лочки прибора делают вывод при изменении катодного тока более чем на ±20%. Составитель А. Мзртыненко Техред М.Моргентал Корректор Й. Шулпа_ Заказ 4186 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101