Малогабаритний магнітострикційний датчик тиску

1. Малогабаритний магнітострикційний датчик тиску, що складається з чутливого елемента, корпусу та блока обробки сигналів, який відрізняється тим, що чутли вий елемент виконаний у вигляді кубика з феромагнітного мартенситного кристала Ni51Mn28Ga21, на бокову поверхню якого через ізолюючу плівку нанесена у вигляді круга пермалоєва плівка з віссю анізотропії, яка лежить в площині плівки і направлена паралельно до основи кубика, і на цю плівку нанесені дві пари точкових контактів, розміщених на кінцях двох діаметрів паралельного і перпендикулярного до основи кубика, і на точкові контакти на кінцях діаметра паралельного до ос A 1 3 71751 4 лельно до ребра основи кубика, і на цю плівку наferromagnetic martensite // Scripta Materialia. - 2003. несені дві пари точкових контактів, розміщених на - V.49. - P.129-133). При повороті вектора намагнікінцях паралельного і перпендикулярного до осночування внаслідок магніторезистивного ефекту ви кубика діаметрів круга пермалоєвої плівки, і на (див. книгу С.Х. Карпенков. Пленочные магнитные пару точкових контактів на діаметрі паралельному преобразователи / Μ. Радио и связь. - 1985. до основи з блоку обробки сигналів подається С.208) змінюється величина сигналу, який знімастабілізована постійна напруга, а з пари контактів ється з пермалоєвої плівки. Причому, якщо в перна діаметрі перпендикулярному до основи знімашій плівці сигнал зростає і досягає максиму, коли ється вимірювальний сигнал і подається на блок магнітний вектор в матеріалі кубика направлений обробки сигналів. Причому для підвищення співвертикально, то у др угій плівці навпаки величина відношення сигнал/шум на протилежну бокову сигналу падає і стає мінімальною може навіть віповерхню кубика нанесена через ізолюючу плівку д'ємною, коли магнітний вектор в матеріалі кубика друга пермалоєва плівка, товщина, склад, форма, направлений вертикально. Висока одноосна анізоі точкові контакти якої такі ж як і в першій плівці, тропія (порядку 1 градуса) в площині намагнічуале вісь її одноосної площинної анізотропії направання плівки підвищує чутливість до величини та влена перпендикулярно до основи кубика, і стабінапрямку дії магнітного поля (див. Авторское свилізована постійна напруга на цю плівку подається детельство 1774296 (СССР). Устройство для изчерез пару контактів, розміщених на кінцях діамемерения магнитного поля // Изобретения. - 1992. тра перпендикулярного до основи кубика, а з пари №41). контактів на діаметрі паралельному до основи Як видно з результатів роботи (Peter Muller, кубика знімається вимірювальний сигнал і подаV.F. Chernenko. G. Kostorz. Stres-induced twin ється на один з входів диференційного підсилюваrearrangement resulting in change of magnetizion in a ча блоку обробки сигналів, на другий вхід якого Ni-Mn-Ga ferromagnetic martensite // Scripta подається вимірювальний сигнал з першої плівки. Materialia. - 2003. - V.49. - P.129-133) під дією тиску Схема пристрою на фігурі 1. Він складається з від 0 до 107 Па в феромагнітному кристалі кубика 1 вирізаного з феромагнітного мартенситNi51Mn28Ga2 спостерігається поворот магнітного ного кристалу Ni51Mn28Ga21. Розмір такого кубика вектора з горизонтального майже в вертикальний може бути менший 1 см). На бокову грань кубика напрям. Тому в нашому датчикові величина сигнананесені через ізолюючу (SiO2 , Аl2 О3 і т.д.) плівку 2 лу після диференційного підсилювача буде змінюу вигляді круга пермалоєві плівки 3 (найкраще ватись від деякої величини +U2 до величини Ni(80-81)Fe(19-20), бо плівка з таким складом має ну- (U2 - DU2 ) в часі за законом льову магнітострикцію), причому вісь площинної U=U2f(t) (1) анізотропії першої плівки направлена горизонтаВеличина DU2