Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

1. Измерительное устройство, содержащее емкостный преобразователь, выполненный в виде двух щупов, и соединенный с преобразователем посредством коаксиального кабеля канал измере­ния, выполненный в виде последовательно соеди­ненных комплексного высокочастотного моста, усилителя, амплитудно-фазового детектора и ин­дикатора, отличающееся тем, что, с целью повы­шения скорости контроля среднеинтегрального значения толщины неэлектропроводящих пленоч­ных покрытий на полупроводящих и электропро­водных основаниях, один из щупов выполнен плоскостно распределенным с плавно изменяемой эластичностью, а второй щуп выполнен в виде за­хвата, предназначенного для подсоединения к основанию.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что пер­вый щуп выполнен в виде диамагнитного цилинд­ра, на основание которого натянута полимерная пленка с металлизированным покрытием, на про­тивоположном конце цилиндра размещена крыш­ка-штуцер, полость цилиндра разделена тарельчатой диафрагмой, положение которой ре­гулируется винтом-толкателем, установленным в крышке и контактирующим с ней через упругий элемент.

3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля неравно­мерных покрытий с особо шероховатой поверхно­стью, в полость цилиндра, образованную полимерной пленкой и диафрагмой, введена тон­кая суспензия.

Текст

Союз Советских Социалистических Республик 741034 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22)3аявлено 05Д2.77 (21) 2 5 5 0 9 2 9 / 1 8 - 2 8 с присоединением заявки № Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет Опубликовано 1506.80. Бюллетень № 22 Дата опубликования описания 18.06,80 (72) Авторы изобретения (71) Заявитель G 01 В 7/08 531.717 .11(088.8) Б.П. Фридман и B.C. Жернаков Уфимский авиационный институт имени Орджоникидзе (54) ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО 1 Изобретение относится к средствам толщинометрии и может найти применение в любой отрасли машиностроения при измерении толщины твердых и полу-с твердых покрытий, жировых отложений, изоляционных и защитных слоев и пленок на металлической и полупроводниковой основе. нетвердых объектов, а также измерения среднеинтегрального значения толщины объекта на і определенной площади. Целью изобретения является повышение скорости контроля'среднеинтегрального значения толщины неэлектропроводящих пленочных покрытий на полупроводящих и электропроводных осИЗВеСТНО Измерительное УСТРОЙСТВО,jQ нованиях. содержащее преобразователь, выполненПоставленная цель достигается тем, ный в виде двух щупов, соединенных что один из щупов выполнен плоскостпроводниками с омметром Е1Ї. но распределенным с плавно изменяеТакое устройство имеет ограниченмой эластичностью, а второй щуп выную область применения, так как не полнен в виде захвата, предназначенное может быть использовано для контроля ї:> го для подсоединения к основанию. эластичных и вязких покрытий. Первый щуп выполнен в виде диаНаиболее близким техническим решемагнитного цилиндра, на основание нием к изобретению является измерикоторого натянута 'полимерная пленка тельное устройство, содержащее емс металлизированным покрытием, на и костный преобразователь, выполненный * противоположном конце цилиндра разв виде двух щупов, и соединенный с мещена крышка-штуцер, полость цилиндпреобразователем посредством коакра разделена тарельчатой диафрагмой, сиального кабеля канал измерения, выположение,которой регулируется винполненный в виде последовательно сое- ^ том-толкателем, установленным в крышдиненных комплексного высокочастотке и контактирующим с ней че

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Measuring device

Автори англійською

Fridman Borys Petrovych, Zhernaakov Volodymyr Sergiiovych

Назва патенту російською

Измерительное устройство

Автори російською

Фридман Борис Петрович, Жернаков Владимир Сергеевич

МПК / Мітки

МПК: G01B 7/02

Мітки: пристрій, вимірювальний

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/4-12089-vimiryuvalnijj-pristrijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Вимірювальний пристрій</a>

Подібні патенти