Пристрій для ультразвукової обробки мікродроту

1. Устройство для ультразвуковой обработки микропроволоки, включающее ультразвуковой преобразователь с волноводом и инструментом, выполненным в виде цилиндро-конической трубки с конической частью в виде конфузора из материала твердостью 88-91HRA, причем конический участок инст 2. Устройство п о п . і . о т л и ч а ю щ е е с я тем, что источник жидкой среды выполнен в виде ванны, причем последняя оснащена отсеком сброса и фильтрации загрязненной жидкой среды. Изобретение относится к устройствам для очистки микропроволоки с использованием ультразвуковых колебаний и может быть применено в микроэлектронике для обработки микропроволоки. Наиболее близким является устройство для ультразвуковой обработки микропроволоки [1], содержащее ванну для моющего агента, ролики подачи микропроволоки, ультразвуковой излучатель с волноводом и инструментом, выполненным в виде цилиндро-конической трубки с конической частью в виде конфузора, со сквозными отверстиями, которые смещены относительно друг друга в диаметральной плоскости трубки. Однако данное устройство не позволяет регулировать интенсивность процесса очистки и вести процесс обработки микропроволоки в чистой среде. Задача состоит в том, чтобы создать устройство для обработки микропроволоки, позволяющее регулировать интенсивность движения жидкой среды в зоне обработки и вести процесс обработки в чистой среде. Сущность изобретения в том, что устройство дополнительно снабжено струйным насосом, патрубок всасываемой среды которого установлен соосно с цилиндрической трубкой инструмента и закреплен к нему посредством упругого элемента для обеспечения отбора загрязненной жидкой среды из зоны обработки. К тому же, источник жидкой среды выполнен в виде ванны, причем последняя оснащена отсеком сброса и фильтрации загрязненной жидкой среды. Вследствие этого, струйный насос, которым дополнительно снабжено устройство, при работе увеличивает кинетическую энер румента имеет сквозные отверстия, смещенные относительно друг друга в диаметральной плоскости трубки, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что оно дополнительно снабжено струйным насосом, патрубок всасываемой среды которого установлен соосно с цилиндрической трубкой инструмента и закреплен к нему посредством упругого элемента для обеспечения отбора загрязненной жидкой среды из зоны обработки. со О 6413 гию всасываемой жидкой среды и кавитационных пузырьков в зоне обработки микропроволоки, из-за чего обеспечивается максимальная интенсивность движения и концентрация кавитационных пузырьков в 5 месте сужения конического участка трубки и на участке чистовой обработки инструмента, что способствует разрушению крупных частиц грязи в узкой части трубки при прохожд е н и и м и к р о п р о в о л о к и . При этом 10 регулировка давления и расходы жидкой среды в месте сужения конического участка трубки и на участке чистовой обработки инструмента обеспечивается путем повышения или уменьшения давления и расхода 15 рабочего агента струйного насоса. На чертеже приведен общий вид устройства. Устройство содержит ванну 1 с жидкой средой 2, в которую помещен лопастной 20 винт 3. Ванна оснащена отсеком сброса и фильтрации 4 с фильтром 5 для сброса и фильтрации (очистки) загрязненной жидкой среды 6. В жидкую среду 2 опущен волновод 7 ультразвукового преобразователя 8. К вол- 25 новоду 7 присоединен инструмент 9, выполненный в виде цилиндро-конической трубки 10 с радиальными отверстиями 11, внутренняя полость которого предназначена для обработки микропроволоки 12, подаваемой 30 при помощи роликов 13. Соосно цилиндроконической трубки 10 (со стороны ее цилиндрического участка) установлен патрубок 14 всасываемой жидкой среды струйного насоса (аппарата) 15 и закреплен к инструменту 35 9 при помощи упругого элемента 16 (эластичной трубки или кольца; сильфона и т.д.). в 8 приемную камеру 17 струйного насоса (аппарата) 15 входят сопла 18 с рабочим агентом (газ, жидкость и т.д.) 19, подаваемым по 40 трубке 20. Приемная камера 17 переходит в камеру смещения 21, которая завершается коническим диффузором 22, который крепится к стенке отсека сброса и фильтрации (очистки) 4 при помощи упругого кольца 23. 45 Упругий элемент 16 и кольцо 23 способствуют уменьшению потерь ультразвуковой энергии и погашению вибраций. Устройство работает следующим образом. Посредством ультразвукового преобразователя 8 создаются ультразвуковые колебания, передающиеся через волновод 7 и стенки инструмента 9 трубке 10. Вследствие этого микропроволока 12 вовлекается в колебательный процесс, что позволяет в трубке 10 концентрировать кавитационные процессы и одновременно обеспечивать калибровку микропроволоки 12 путем сглаживания выступов на ее поверхности, а радиальные отверстия 11 в трубке 10 увеличивают доступ жидкой среды в зону очистки при помощи винта 3. Одновременно с этим нагнетаемый под давлением Р рабочий агент (газ, жидкость и т.д.) 19 по трубке 20 подается в приемную камеру 17 струйного насоса 15 через сопла 18, рабочие части которых расположены симметрично друг другу относительно продольной центральной оси внутренней полости струйного насоса 15 (либо под углом 120° относительно этой оси), а также равноудалены от этой оси. Вытекая с высокой скоростью через сопла 18 рабочий агент 19 увлекает за собой воздух, находящийся в приемной камере 17. Вследствие образования вакуума устремляется жидкая среда 2 с кавитационными пузырьками в приемную камеру и захваченная струей рабочего агента 19 перемещается в камеру смешения 21 и далее в конический диффузор 22. В камерах струйного насоса 15 происходит интенсивное смещение потоков рабочего агента 19 и всасываемой жидкой среды 6 с кавитационными пузырьками, что приводит к дополнительному воздействию на микропроволоку 12 после ее прохождения через трубку 10 инструмента 9. В зависимости от физико-механических свойств микропроволоки 12 регулируется Микропроволока 12 подается посредстдавление и расход рабочего агента 19, что вом роликов 13 в полость цилиндро-коничепозволяет регулировать давление и расход ской т р у б к и 10 и через патрубок жидкой среды 2 и обесглэчить максимальную всасываемой жидкой среды 14 в камеры 17, 50 интенсивность движения и воздействия 21 струйного насоса (аппарата) 15, находяжидкой среды 2 и кавитационных пузырьков щегося в ванне 1 с жидкой средой 2. Причем как на микропроволоку 12, так и на трубку 10 патрубок всасываемой жидкой среды 14 ус(в месте сужения конического участка и на тановлен соосно цилиндро-конической участке чистовой обработки), что способсттрубке 10 и закреплен к инструменту 9 при 55 вует разрушению крупных частиц грязи в помощи упругого элемента 16, а конический узкой части трубки. диффузор 22 струйного насоса 15 выходит в Рабочий агент .19 и жидкая среда 2 заотсек сброса и фильтрации (очистки) 4 и крехватывают продукты загрязнений и выводят пится к его стенке при помощи упругого их в отсек сброса и фильтрации (очистки) 4, кольца 23. где загрязненная жидкая среда 6 фильтрует 6413 ся (очищается) при помощи фильтров 5 и очищенная жидкая среда вновь попадает в ванну 1. / / / / Упорядник І.ХомІн Замовлення 626 Заявляемое изобретение можно использовать для обработки проволоки; нитей и т.д., а также в других отраслях промышленности. / /////////777777777; Техред М.Моргентал Коректор М.Самборська Тираж Підписне Державне патентне відомство УкраТни, 254655, ГСП, Київ-53, Львівська пл., 8 Виробничо-видавничий комбінат "Патент", м, Ужгород, вул.Гагаріна, 101