Спосіб виготовлення кольорових електролюмінесцентних матрічних індикаторів

ЛЛЯ ( Л ^ Ж І Ь И О Ї О МОЧЬЇОНЛИИЯ Ж і N СОЮЗ СОБЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИН (51П н °5 В 33/Ю ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР 1 (21) ^729793/25 (22) 07.08.89 (71) Институт полупроводников АН УССР (72) М.Я.Рахлин и В,Е.Родионов (53) 621.382 (088.8) (56) Ргос. 1986 Intern Elecrtoiuminescence VTorkshop USA, 1986, p. 186-190. "Электроника", 1987, т . 6 0 , № 11 , с . 31 -3 і *Авторское свидетельство СССР № 1 5 6 7 Ю 0 , кл. Н 05 В 33/1*». 1987. (5k) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦВЕТНЫХ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНЫХ МАТРИЧНЫХ ИНДИКАТОРОВ (57) Изобретение относится к способам изготовления цветных электролюминесцентных матричных индикаторов. Использование: в производстве матричных тонкопленочных многочвет1 ных индикаторов. Сущность: форми Изобретение относится к электронной технике, в частности к области создания систем отображения информации, к индикаторной технике, и мо жет быть использовано при разработке технологии изготовления цветных электролюминесцентных матричных индикаторов. Создание цветных индикаторов с высокой разрешающей способностью ставит задачу преодоления взаимообратного эффекта усложнения тра-. диционной технологии изготовленияt так как требует большого количества^ 13-92 руют на одной стороне керамической подложки растр металлических электродов, а на другой стороне - систему взаимно параллельных углублений, скрещенных под прямым углом с растром металлических электродов. На поверхность подложки с углублениями последовательно наносят первый электролюминесцентный слой одного цвета свечения, первый диэлектрический прозрачный проводящий слой и слой прозрачного компауда. Формируют растр прозрачных электродов путем полировки выступающих керамических частей подложки. Затем наносят второй электролюминесцентный слой другого цвета свечения, второй диэлектрический и второй проводящий слои. Затем лазерным скрайбированием разделяют последний на электрические взаимно параллельные полосы на участках полложки, свободных от компаунда. 1 ил. высокоточных сменных масок, применения сложных и дорогостоящих фотолитографических операций, тщательного контроля изготовления и отбраковки готовых индикаторов. Это приводит к уменьшению выхода годных изделий при использовании традиционных технологий , Известен способ изготовления цает1 ного электролюминесцентного матричного индикатора, содержащего расположенные на общей стеклянной подложке чередующиеся полосы активных излучающих элементов электролюминес с 725729 чения, второго д и э л е к т р и ч е с к о г о и центпых с т р у к т у р двух цветов с в е ч е в т о р о г о прозрачного проводящего слон и я , окруженных дзумя тоьг,оплеьочными д и э л е к т р и к а м и , и электролы, по к о т о ев и применение традиционных фоторому все слои наносят методом э л е к литографических методов при форми5 г р о н н о - л у ч е в о г о напыления. По данноровании растров э л е к т р о д о в . Преимуму способу повышения разрешающей с п о ществом данного способа является собности достигают т е м , что после использование керамической подложки нанесения полос активных излучаюкак токоограничивающего и улучшающих элементов с т р у к т у р ы первого ц в е 10 щего условия теплоотвода д и э л е к т р и та свечения перед нанесением в т о р о г о ч е с к о г о элемента, а также возможд и э л е к т р и ч е с к о г о слоя активные и з л у ность уменьшения количества операций чающие элементы с т р у к т у р ы второго фотолитографии до минимума. Недосцвета свечения формируют методом с у т а т к и данного т е х н и ч е с к о г о решения к о г о или ж и д к о с т н о г о травления через