Пристрій для діагностування пристрою регулювання росту монокристалів

Пристрій для діагностування пристрою регулювання росту монокристалів, що містить mрозрядну логічну структуру, кожна декада якої включає чотирирозрядний двійково-десятковий лічильник з виходами z1, z1, ..., z4, z4 , перший і другий мультиплексори, елемент АБО-НІ й схему зворотного зв'язку, що включає логічні елементи ІНІ й ВИКЛЮЧНЕ-АБО, причому вихід елемента C2 2 (19) 1 3 89312 4 Особливостями процесів вирощування МК є: контролю часу, що включає дільник тактових імпубагатомірність, нестаціонарність цього об'єкта кельсів, що включає блок керування, детектор, два рування, істотна тривалість і безперервність роболічильники часу, п'ять логічних елементів І, елечого циклу, високий рівень виробничих шумів. У мент АБО, інвертор, дешифратор, блок контролю процесі експлуатації СУ вирощування МК у диспрограмних переходів, що включає регістри поточкретних пристроях, мікропроцесорах відомих контної й контрольної мітки, схему порівняння, блок ролерів нерідко відбуваються несподівані фізичні дозволу переходів і логічний елемент АБО, блок зміни параметрів, що виходять за припустимі межі, тестових програм, що включає ПЗП й елемент що приводить до зниження відмовостійкості СУ в керування. цілому. Шинні формувачі даних (ШФД) і адреси (ШФА) Причинами виникнення відмов можуть бути ДЯ з'єднані з інтерфейсною магістраллю ПК, до дефекти, допущені при проектуванні, порушеннях якої підключена схема формування відповіді норм експлуатації, природні процеси старіння й (СФВ), детектор (по шині даних), регістр поточної зношування складових елементів, а також різні мітки (РПМ - по шині адреси). Входи блоку керуушкодження. При цьому найбільш імовірним є повання з'єднані з виходом детектора й СФВ, а вихід ява, обумовлена дефектом (ушкодженням), неблоку керування через логіку формування помилки правильних значень сигналів на виходах контро- із загальною магістраллю. Лічильники (Л. Т) і (Л. лера або його складової частини, що приводить до Т) блоку контролю часу виконання програм, з'єдчасткової або повної зупинки процесу вирощуваннані по шині даних зі ШФД і регістром контрольної ня. Збої й відмови в роботі СУ приводять до більмітки (РКМ), а входи лічильників з'єднані з логічших матеріальних втрат, зниженню якості й конкуними елементами формування помилки. РПМ, рентноздатності вирощуваних МК. Тому розробка РКМ по адресній шині з'єднані зі схемою порівнянзасобів діагностування технічного стану пристроїв ня й блоком дозволу переходів, вихід якого з'єднакерування ростовими установками й відновлення ний з логікою формування помилки. їхньої працездатності є актуальною проблемою. Програмувальний контролер являє собою Слід зазначити, що побудова засобів діагностуспеціалізовану ЕОМ, проблемно-орієнтовану на вання контролерів СУ процесом вирощування МК рішення завдань керування роботою комплексу припускає, що ці засоби повинні бути самі легко технологічного встаткування, тому ДЯ є складним тестуємими, забезпечуючи при цьому високу віровузлом, основною функцією якого є програмне гідність і простоту виконання процедури діагностузабезпечення циклу керування, включаючи провання. Ігнорування цього факту приводить до неграмні засоби для локалізації й вказівки місць неоднозначності результатів перевірки справності справності електронної частини СУ. Функціональконтролерів і діагностичного елемента, а сама не діагностування (ФД) проводять на процедура перевірки помітно ускладнюється. інформаційному рівні для визначення помилок Вибір методики тестування окремих вузлів для даних (перемежовуюча несправність), коду операвиявлення несправностей і наступного відновленцій, програмних переходів (за часом виконання), а ня працездатності звичайно здійснюють перед пошук несправних елементів на логічному рівні початком вирощування, причому цю операцію ро(логічний вентиль або схема, перетворювач) - за блять лише на основі практичного досвіду, пов'ядопомогою тестового діагностування (ТД), з викозаного з більшими втратами часу, що найчастіше ристанням спеціальних тестових програм, записане приводить до очікуваних результатів. Так, наних на ПЗП й елемента керування. приклад, перевірку справності роботи вимірника Недоліками програмної надмірності відомого положення рівня розплаву роблять на сольовому пристрою діагностування для виявлення несправрозчині матеріалу, з якого надалі вирощують крисностей і здійснення процесу відновлення працезтал, протягом декількох годин. Перевірку справнодатності системи є висока вартість (300у.о. на сиссті вузлів підживлення розплаву, дискретного петемному рівні на одну несправність) розробки й реміщення кристалотримача (КТ), роботу налагодження програмних засобів і низька ефекрегуляторів температури донного й бічного нагрітивність, що унеможливлює його використання вачів, їхній зв'язок з термоперетворювачами й т.п. для діагностування контролерів СУ вирощування оцінюють візуально. МК. Ці ж недоліки властиві відомим пристроям для У результаті помилки в роботі вузлів не завконтролю часу виконання програм [А.с. СРСР жди виявляються, що приводить до зниження від№1176336, G06F11/28, А.с. СРСР №1315981, мовостійкості системи. G06F11/26]. Відомий пристрій діагностування правильності Відомий пристрій для діагностування ПЛІС виконання програм [Программируемые контрол[R.C. Aitkin. Nanometer, technology effects on fault леры повышенной надежности для управления models for 1C testing // IEEE Design & Test of автоматическими линиями / И.Н. Миков, Л.В. ДерComputers. - 1999. - №11. - P.46-51], що відповідає бунович и др. - Обзор. - М.: НИИ маш. - 1984. - (Сміжнародному стандарту проектування цифрових 1. Станкостроение). - С.24-28. - рис.13], що містить пристроїв [IEEE 1149.1 "Boundary Scan"], що місдіагностичне ядро (ДЯ), що входить до складу протить інтерфейс - порт JTAG, (порт послідовного грамувального контролера (ПК), пов'язаного із виводу інформації), що включає 4-5 виводів субблоками, що входять у ПК через інтерфейсну TD1/TD0 (Вх./вихід тестового сканування) і контмагістраль, з'єднану з 8-розрядною шиною даних, ролер ТД. 16-розрядною шиною адреси й керуючими сигнаШина керування процесом тестування містить лами через шинні формувачі даних в адреси, схелінії початкової установки, завдання тактової часмою формування відповіді. ДЯ також містить блок тоти, вибору режиму й з'єднана з убудованим кон 5 89312 6 тролером тестового діагностування. Вхідні й вихішостим виходом обчислювального блоку, а вихід дні регістри порту з'єднані із шиною даних для пристрою діагностування з'єднаний по інформапослідовного вводу-виводу даних всіх тестуємих ційній шині із третім входом обчислювального елементів пам'яті ПЛІС (за винятком убудованих блоку пристрою для регулювання росту МК. ОЗП, ПЗП). Як правило, порт JTAG містить сигнаУ даному пристрої для простоти й зручності турний аналізатор, з'єднаний з вихідними регіствикладу деякі зв'язки з діагностичним пристроєм, рами. які не мають істотного значення для рішення, що У режимі тестування ПЛІС всі елементи пам'язаявляється, представлені в спрощеному виді. ті ДП, що перевіряються, реконфігуруються в зсуРазом з тим, вони відповідають пристрою по з-ці вово-регістрові ланцюги, що дозволяє послідовно №а200704669 України від 26.04.2007р., вводити/виводити дані в/з внутрішніх вузлів логічС30В15/20, G06F11/28, а, саме, опис частини фоного ядра схеми. рмули відомої пропозиції: Порт JTAG є невід'ємною частиною практично "Керуючі входи декади: тактуючий вхід С, з'єдбудь-якої ПЛІС. Існує спеціалізоване програмне наний з кожним із тригерів лічильника й входом D1 забезпечення для одержання послідовності тестодругого мультиплексора, вихід С1 якого є тактуювих вхідних векторів, що дозволяють виявити причим для наступної декади, вхід R початкової устасутність у внутрішніх вузлах схеми несправностей новки й вхід U вибору режиму роботи, з'єднаний з із заданого списку. Однак використання відомого дозволяючими входами першого й другого мульпристрою діагностування для перевірки справності типлексорів, підключені до контролера тестового контролерів керування процесом вирощування МК діагностування (керування) порту JTAG, інформає недоцільним, через складність розв'язуваного ційний вхід Vs декади, з'єднаний з інформаційним завдання. входом D1 першого мультиплексора й виходом Відомий пристрій для діагностування притестового сканування порту послідовного виводу строю для регулювання росту монокристалів [з-ка інформації (JTAG) з'єднані по шині керування із №а200704669 України від 26.04.2007р., шостим виходом обчислювального блоку, а вихід С30В15/20, G06F11/28], що містить m-розрядну пристрою діагностування з'єднаний по інформалогічну структуру, кожна декада якої включає чоційній шині із третім входом обчислювального тирирозрядний двійково-десятковий лічильник з блоку . . ." представлено в обмежувальній частині формули пропозиції, що заявляється, у такий сповиходами z1 , z1 ...,z 4 , z4 , перший і другий мульсіб: типлексори, тривходовий елемент АБО-НІ й схему ". . . керуючі входи декади й вихід пристрою дізворотного зв'язку, причому вихід елемента АБОагностування через керуючу й інформаційну шини НІ, що реалізує вихід переносу P z1 z 2 z 4 з'єднані з обчислювальним блоком . . .". Недоліками відомого пристрою є неоднозначдекади з'єднаний з інформаційним входом D0 друність результатів перевірки справності контролерів гого мультиплексора, при цьому входи елемента СУ процесу вирощування МК і низька вірогідність АБО-НІ підключені до виходів z1, z2, z4 лічильника, тестування. Причиною цих недоліків є те, що викодіагностичний вихід S декади з'єднаний із четвернання процедури діагностування самого діагностим виходом лічильника (S=z4) і підключений до тичного елемента не передбачено. входу D1 мультиплексора наступної декади. Слід зазначити, що відсутність самотестуванСхема зворотного зв'язку, утворена бесповтоня практично виключає можливість використання рною мережею Майтра [Maitra K.K. Cascaded функціонального підходу до перевірки справності switching networks of two-input flexible cells//IRE контролерів і приводить до необхідності застосуTrans. Electr. Computers. Vol. EC-13, April 1964. вання машинної генерації тестів і моделювання P.P.136-143], містить, з'єднані між собою логічні несправностей, що неминуче позначається на збіелементи І - НІ й Виключаюче-АБО, своїми входальшенні витрат. Отже, обмежені функціональні ми з'єднана з виходами z1, z 3 , лічильника, підкможливості діагностичного пристрою приводять до лючених до елемента I - НІ й виходом z4, з'єднанозниження відмовостійкості СУ процесом вирощуго з елементом Виключаючи АБО вання МК, що спричиняє збої в процесі росту МК і приводить до зниження виходу продукції. fo.c. z4 z1z3 , а виходом, що є також виходом Як прототип пристрою для діагностування елемента Виключаюче - АБО - з інформаційним пристрою регулювання росту МК обраний останній входом D0 першого мультиплексора, вихід якого з аналогів. підключений до інформаційного входу D1 лічильВ основу дійсного винаходу поставлене заника. вдання створення пристрою для діагностування Керуючі входи декади: тактуючий вхід С, з'єдпристрою регулювання росту МК, що забезпечило наний з кожним із тригерів лічильника й входом D1 б підвищення відмовостійкості роботи СУ шляхом другого мультиплексора, вихід С1 якого є тактуюрозширення функціональних можливостей причим для наступної декади, вхід R початкової устастрою для його діагностування, організації функціновки й вхід U вибору режиму роботи, з'єднаний з ональних з'єднань усередині схеми зворотного дозволяючими входами першого й другого мульзв'язку самого пристрою. типлексорів, підключені до контролера тестового Рішення завдання забезпечується тим, що діагностування (керування) порту JTAG, інформапристрій для діагностування пристрою регулюванційний вхід Vs декади, з'єднаний з інформаційним ня росту МК, що містить m-розрядну логічну струквходом D1 першого мультиплексора й виходом туру, кожна декада якої включає чотирирозрядний тестового сканування порту послідовного виводу двійково-десятковий лічильник з виходами інформації (JTAG) з'єднані по шині керування із 7 z1 , z1 ...,z4 , z4 , перший і другий мультиплексори, елемент АБО - НІ й схему зворотного зв'язку, що включає логічні елементи І - НІ й Виключаюче АБО, причому вихід елемента АБО - НІ з'єднаний з інформаційним входом D0 другого мультиплексора, входи елемента АБО - НІ підключені до виходів лічильника, діагностичний вихід S декади з'єднаний із четвертим виходом лічильника (S=z4) і підключений до входу D1 мультиплексора наступної декади, а елемент Виключаючи - АБО схеми зворотного зв'язку одним входом з'єднаний з виходом Z4 зазначеного лічильника, а виходом - з інформаційним входом D0 першого мультиплексора, вихід якого підключений до інформаційного входу D1 лічильника, керуючі входи декади й вихід пристрою діагностування через керуючу й інформаційну шини з'єднані з обчислювальним блоком пристрою регулювання росту МК, відповідно до винаходу, у схему зворотного зв'язку додатково уведений логічний елемент 3І - НІ, шина керування додатково містить керуючий вихід X, з'єднаний зі схемою зворотного зв'язку кожної декади по перших входах логічних елементів I - НІ, при цьому додатковий елемент 3І - НІ виходом з'єднаний з іншим входом елемента Виключаюче - АБО, а входами, відповідно, з виходами z1 , z 3 лічильника й виходом елемента І - НІ, інший вхід якого з'єднаний з виходом z2 лічильника. Введення додаткового логічного елемента 3І НІ в схему зворотного зв'язку (Фіг.2) забезпечує, разом з відомими елементами І - НІ й Виключаюче - АБО, розширення функціональних можливостей пристрою діагностування, шляхом створення нової функції fo.c. z 4 z1z 2 z3 - генератора псевдовипадкових послідовностей максимальної довжини. Заново створена функція дозволяє здійснити самотестування елемента діагностування, при цьому забезпечити високу вірогідність діагностування всієї СУ процесом вирощування МК, а, виходить, підвищити якість готової продукції. Введення додаткового керуючого входу Х (Фіг.1) відкриває можливість сполучення в одному діагностичному пристрої наступних функцій (Фіг.2): - багаторозрядного двійково-десяткового лічильника, при поданні сигналів U=0, Х=0 (при цьому реалізується функція зворотного зв'язку відомої пропозиції fo.c. z 4 z1z3 з додатковим елементом 3І - НІ, послідовність рахунку представлена на Фіг.3а); - багаторозрядного зсувового регістра, при поданні сигналів U=1, Х=0,1 (функція відомої пропозиції, незалежно від сигналу X); - генератора псевдовипадкових послідовностей максимальної довжини, при поданні сигналів U=0, X=1 (при цьому реалізується функція зворотного зв'язку пропозиції, що заявляється, fo.c. z 4 z1z 2 z3 , послідовність рахунку імпульсів представлена на Фіг.3б). Отже, введення додаткового керуючого входу Х забезпечує розширення функціональних можливостей діагностичного елемента й підвищує відмовостійкість СУ. 89312 8 Характерною рисою багатофункціонального діагностичного пристрою з додатковими елементами (Фіг.1, 2) є регулярність структури, простота реконфігурації схеми для здійснення синдромного або сигнатурного тестування й існування для схеми генератора такої відмітної послідовності, що спрощує процедуру перевірки справності самого пристрою діагностування. Використання, як генератора псевдовипадкових двійкових послідовностей і пристрою стиску вихідної інформації лічильникових і зсувово-регістрових схем дозволяє забезпечити високу вірогідність і простоту діагностування всього пристрою для регулювання росту МК. Слід зазначити, що введення додаткової логіки (елемент 3І - НІ) у схему зворотного зв'язку, утворену бесповторною мережею Майтра [Maitra К.К. Cascaded switching networks of two-input flexible cells//IRE Trans. Electr. Computers. Vol. EC13, April 1964. - P.P.136-143], що забезпечує зміну функцій зворотного зв'язку й розширення функціональних можливостей, по додаткових витратах виявляється істотно менше, ніж виграш від придбаних можливостей пристрою для діагностування контролерів СУ. Слід також зазначити, що організація переносу Р декади, у принципі, може бути виконана на елементі АБО - НІ з будь-якою кількістю входів, але в пристрої, що заявляється, вона виконана на елементі 4АБО - НІ ( P z1 z 2 z 3 z 4 ). Отже, розширення функціональних можливостей пропонованого винаходу забезпечує підвищення відмовостійкості СУ, а, виходить, і виходу вирощуваних МК. На Фіг.1 представлена логічна структура пристрою, що заявляється, для діагностування пристрою регулювання росту МК. На Фіг.2 наведена схема зворотного зв'язку лічильника однієї декади пристрою, що заявляється, для діагностування, що реалізує різні функції пристрою при наявності або відсутності керуючого сигналу X. На Фіг.3 наведені кодові комбінації стану тригерів двійково-десяткового лічильника однієї декади пристрою діагностування, що заявляється: а при U=0, Х=0; б - при U=0, Х=1. У додатку наведена схема зворотного зв'язку лічильника однієї декади пристрою діагностування, що реалізує функцію fo.c. z 4 z1z3 і кодові комбінації стану тригерів лічильника пристрою по прототипі. Логічна структура пристрою 1 для діагностування пристрою регулювання росту МК (Фіг.1), що передбачає розбивку m-розрядного лічильника, містить окрему декаду чотирирозрядного двійководесяткового лічильника 2 з вихідними сигналами z1 , z1 ...,z4 , z4 , перший і другий мультиплексори 3, 4, чотиривходовий елемент АБО - НІ 5, схему 6 зворотного зв'язку й інформаційну шину А. Елемент АБО - НІ 5, інверсний вихід якого є виходом P1, P2, ...,Р(m-1) переносу декади, з'єднаний з інформаційним входом D0 другого мультиплексора 4, входи елемента АБО - НІ 5 підключені до виходів z1, z2, z3, z4 лічильника 2, тобто 9 89312 10 передбачають шляхи скорочення трудомісткості реалізація функції переносу P z1 z 2 z 3 z 4 . процедур генерації тестів обчислювальним блоком Мультиплексор 4, вихід С1, С2, ... , C(m-1) якого є 10 і діагностичним пристроєм 1 при моделюванні тактуючим, з'єднаний з лічильником 2 кожної нанесправностей. ступної декади. Тестове діагностування (ТД) виконують у таЛічильник 2, четвертий вихід z4 якого є діагнокий спосіб: стичним виходом S1, S2, ..., S(m-1), підключений 1. Перед проведенням діагностування забездо входу D1 мультиплексора 3 наступної декади, а печують двонаправлену трансляцію даних і керувихід S(m) декади m - до інформаційної шини А. ючих сигналів у схемі реалізації процедури, що Схема 6 зворотного зв'язку (Фіг.2) містить логіутворить у випадку тестування послідовний шлях чні елементи 7 і 8 і додатково уведений логічний із всіх комбінаційних модулів, вузлів, блоків (АЦП, елемент 9, з'єднаний своїми двома входами з виЦАП) і лічильникових структур, включаючи рознімходами Z1 і z3 , лічильника 2, другий z2 і четвертий ні й термопарні з'єднання, що складають регулятор температури донного нагрівача. z4 виходи якого з'єднані, відповідно, із входами У схему реалізації діагностування включають логічних елементів 7 і 8, вихід якого з'єднаний з обчислювальний блок 10, контролер, що перевіінформаційним входом D0 першого мультиплексоряють, пристрій 1 діагностування. Для зв'язку між ра 3, вихід якого підключений до інформаційного елементами схеми (блок 10, регулятор, пристрій 1 входу D1 лічильника 2. Вихід логічного елемента 7 діагностування). використають послідовний канал підключений до третього входу додатково уведетипу RS-485. Візуалізацію результатів діагностуного логічного елемента 9, вихід якого з'єднаний із вання здійснюють за допомогою блоку відобрадругим входом логічного елемента 8. ження інформації (не наведений), з'єднаного з На Фіг.1 наведений обчислювальний блок 10 обчислювальним блоком 10. Організацію шини В пристрою регулювання росту МК (сам пристрій не керування процедурою по виходу G блоку 10 пропоказаний), до входу F якого підключена інформаводять із використанням контролера тестового ційна шина А, а до виходу G зазначеного блоку 10 діагностування (КТД) порту JTAG ПЛІС ALTERA підключена керуюча шина В, що додатково містить MAX EPM3 128 обчислювального блоку 10. керуючий вхід X, що з'єднаний із другим входом 2. Пристрій у режимі ТД приводять у вихідний логічного елемента 7 схеми зворотного зв'язку 6. стан шляхом подання логічної "1" у лінію R - почаІнші керуючі входи шини В пристрою 1 діагносткова установка, що входить до складу шини В тування: тактуючий вхід С з'єднаний із входами керування. Сигнал на цій лінії формується автомалічильника 2 і інформаційним входом D1 другого тично в КТД блоку 10, після включення режиму мультиплексора 4 першої декади; вхід Vs - органі"ТЕСТ". зації наскрізного зсувового регістра з'єднаний з Сигнал R - початкова установка приводить у інформаційним входом D1 першого мультиплексовихідний стан пристрій 1 діагностування, вузли ра 3 першої декади; вхід R - початкової установки регулятора, що перевіряється. У результаті впливу з'єднаний з лічильниками 2 декад І,II,...,m присигналу R на всіх спостережуваних виходах пристрою 1; вхід U-вибору режиму роботи пристрою 1, строю 1 установлюються значення логічного "0". підключений до дозволяючих входів першого 3 і Сигнал на лінії U - вибір режиму - установлюдругого 4 мультиплексорів. ють у КТД рівним логічному "0". Нульовий сигнал Пристрій 1 діагностування побудовано на оспо шині В керування (вихід G блоку 10) подають на нові матриці програмувальних внутрішніх з'єднань дозволяючі входи першого 3 і другого 4 мультипПЛІС типу ALTERA MAX EPM3 128 і з'єднано із лексорів декад І, ІІ, ...,m пристрою 1 діагностуванпроцесорною частиною обчислювального блоку на ня, забезпечуючи його роботу в режимі багаторозоснові ПЛІС ATMEGA 128 L. рядного двійково-десяткового лічильника, при У конкретному прикладі реалізації пристрою цьому сигнал керування на лінії Х=0. всі загальні із прототипом вузли й блоки виконані По шині В керування подають сигнал дозволу аналогічними, тому їхній докладний опис не прирахунку - на вхід Vs пристрою 1, а в блоці 10 задаводиться, хоча вони можуть бути виконані й інакють число імпульсів Т1 для "проходження" через ше зі збереженням їхніх основних функцій. регулятор температури, що перевіряється. Після Пристрій, що заявляється, для діагностування дозволу виконання режиму "ТЕСТ", передачі по пристрою регулювання росту МК працює в такий каналі зв'язку RS-485 і "проходження" через регуспосіб. лятор, що перевіряється, число Т2 імпульсів, що Перед вирощуванням МК NaI(T1), діаметр якозалишилося характеризує правильність або спраго становить 420мм, а висота - 500мм, на установвність тестуємого контролера. Цю інформацію ках типу "РОСТ" спочатку здійснюють діагноступередають по каналу зв'язку в обчислювальний вання окремих, вхідних у СУ вирощуванням МК, блок 10, а потім подають на тактуючий вхід С контролерів. першої декади пристрою 1 діагностування. Включають режим "ТЕСТ" у регуляторі діаметЧисло переходів 1 0 (0 1) тактових імпульра МК (обчислювальний пристрій 10) і в меню висів Т2 підраховується пристроєм 1 діагностування значають контролер, що діагностується (наприпри U=0 на його вході вибору режиму, кожна декаклад, регулятор температури донного нагрівача да І,II,...,m якого містить чотирирозрядний двійконе наведений). Діагностування (генерація тестів) у во-десятковий лічильник 2, мультиплексори 3, 4, відповідності зі стандартом IEEE 1149.1 дозволяє елемент АБО - НІ 5 і схему 6 зворотного зв'язку. звести процедуру тестового діагностування регуСхема 6 зворотного зв'язку реалізує функцію лятора температури донного нагрівача до перевірки справності його комбінаційної логіки, при цьому 11 89312 12 після передачі стану виходів по інформаційній fo.c. z 4 z1z3 при Х=0 на її вході, вихід переношині А. су декади І Р1, а діагностичний вихід S1=z4, де Результати діагностування у всіх режимах роz1 , z1 ...,z4 , z4 - прямі й інверсні виходи Dботи виводяться на блок відображення. Для реалізації функціонального діагностувантригерів Т1 Т4, що становлять лічильник 2. ня; 1) попередньо виділяють у загальній керуючій Виходи пристрою 1 діагностування формують програмі обчислювального блоку 10 ділянку для синдром r0, що по інформаційній шині А подають розглянутого регулятора; 2) на етапі компіляції на вхід F обчислювального блоку 10. Порівняння r 0 керуючої програми для регулятора, що перевіряз еталонним синдромом (всі вузли справні) схеється, обчислюють контрольну суму, що є еталонмою порівняння обчислювального блоку 10 завеною сигнатурою; 3) здійснюють контроль правильршує перший етап перевірки регулятора темпераності переходів і розгалужень програмного тури донного нагрівача (метод синдромного сегмента керування регулятором температури за тестування). допомогою контролю часу виконання локальної 3. Формують сигнал на лінії U - вибір режиму в програми; 4) функціональне діагностування проКТД обчислювального блоку 10, рівним логічної водять із використанням обчислювального блоку "1". Одиничний сигнал по шині В керування з ви10 і пристрою 1 діагностування. Після завершення ходу F блоку 10 подають на дозволяючі входи тестового діагностування всіх контролерів керупершого 3 і другого 4 мультиплексорів декад привання й усунення виявлених несправностей прострою 1 діагностування, забезпечуючи його роботу водять операції, що залишилися, що забезпечують в режимі багаторозрядного зсувового регістра. готовність установки до вирощування й здійснюВхід Vs шини В керування підключають через перють керований ріст МК. У процесі росту, якщо буде ший мультиплексор 3 на вхід тригера Т1 лічильнипотреба використають функціональне діагностука 2 першої декади, а діагностичний вихід S1, вання будь-якого контролера, що викликає сумнів S2,...,Sm-1 є входом Vs для наступної декади. При у правильності програмного керування регулятоцьому на кожний такт "С" (число Т2 імпульсів) ром діаметра. Перед початком наступного вироздійснюють послідовний зсув вихідної послідовнощування МК діагностування повторюють. сті імпульсів вузлів регулятора температури, що Таким чином, пропонований винахід за рахуперевіряють, в пристрої 1 діагностування. Число нок розширення функціональних можливостей одиниць отриманої сигнатури r0 передають по інзабезпечує високу вірогідність і простоту реалізації формаційній шині А, підраховують і порівнюють із перевірки справності контролерів (вимірник полоеталонною в блоці 10 (сигнатурний аналіз). ження рівня розплаву, регулятори температури, 4. Формують сигнал на лінії Х - режим тестоворегулятор діаметра, підживлювач і т.п.) із самотесго діагностування багатофункціонального діагностуванням самого пристрою діагностування, викотичного елемента, рівним логічній "1". Одиничний наного й тестуємого зазначеним вище образом. сигнал по шині В керування з виходу F обчислюПристрій діагностування дозволяє виявити до 95% вального блоку 10 подають на вхід логічного еленесправностей комбінаційної логіки перед початмента І - НІ 7 (Фіг.2) схеми 6 зворотного зв'язку ком вирощування. При цьому виключається необдекад І, II, ... ,m пристрою 1 діагностування (Фіг.1), хідність дорогого машинного синтезу тестів, що забезпечуючи його роботу в режимі генератора перевіряють, а саме діагностування проводиться у псевдовипадкових двійкових послідовностей (посвідповідності зі стандартом IEEE 1149.1. лідовність рахунку імпульсів лічильника 2 наведеОб'єднання тестового й функціонального діагна на Фіг.3). Схема 6 зворотного зв'язку реалізує ностування з використанням самотестування прифункцію fo.c. z 4 z1z 2 z3 . Стан справного пристрою діагностування дозволяє підвищити відмострою 1 кодують оптимальним кодом, що дозволяє востійкість СУ процесом вирощування МК у максимально охопити виходи всієї структури уніцілому. версального діагностичного елемента, відмітну послідовність схеми якого порівнюють у блоці 10 13 Комп’ютерна верстка В. Мацело 89312 Підписне 14 Тираж 28 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601