Спосіб виготовлення пористих термочутливих градієнтних елементів із сплавів з пам`яттю форми

Спосіб виготовлення пористих термочутливих градієнтних елементів із сплавів з пам'яттю форми, що включає виплавку сплаву з пам'яттю форми при температурі плавлення Тпл. , гартування 2 м'яттю форми, що мають широкий інтервал робочих температур, і може бути використаний у мікроелектронній промисловості при виготовленні інтег 3 11915 4 ральних мікросхем, а саме, в системах термокомкож не забезпечують елементу суттєвого збільпенсації теплового розширення вузлів оптичних шення інтервалів температур прямого (Мп-Мк) і систем та деталей літографічних установок позизворотного (Ап-Ак) мартенситних перетворень і, ціювання зображень, а також в оптичних навігаційвідповідно, робочого інтервалу температур них приладах з високими показниками розв'язання ΔТр=|Мк-Ак|. Окрім цього, вказана у способі пружзображень (мікроскопах, телескопах, оптичних на деформація вище температури кінця зворотноприцілах, далековимірювачах, проекційних та зніго (Ак) мартенситного перетворення приводить до мальних апаратах, спектрометрах, спектрографах передчасного руйнування заготовок в процесі вита ін.). готовлення термочутливого елементу. При незнаВідомо спосіб виготовлення термочутливого чній деформації вище температури Ак внутрішні елементу із сплаву системи мідь-алюміній (Cu-Al), напруження у цих сплавах досягають межі їх міцщо заключається у формуванні деталі з послідуюності (1000-1100Мпа). Це обумовлено тим, що чим гартуванням із області стабільної β-фази [Авт. сплави системи Ni-Ti у стані вихідної β1-фази (β1свід. СРСР №330359, кл.G01К11/00, 1968]. фаза метастабільна при температурах проявленНедоліком способу є те, що виготовлений ня ефекту пам'яті форми) відрізняються високою елемент має занадто малий робочий інтервал текрихкістю і не піддаються пластичній деформації в мператур (ΔТр1,3Тпл. приводить до підвищення текучості пам'яттю форми при температурі плавлення сплаву і, в зв'язку з цим, розмиття умовних меж між градієнтними ділянками в заготовці, що викли(Тпл.), гартування із β-області, деформацію кає порушення заданих властивостей через споелемента у напрямку зміни форми елемента при творення геометричних областей в робочому охолодженні при температурі, що знаходиться у об'ємі заготовки, а саме, невідповідність технолоінтервалі від точки початку (Мп) до точки кінця (Мк) гічного алгоритму кожної окремої ділянки заготовінтервалу температур прямого мартенситного пеки при їх формуванні і наступну сильну розбіжність ретворення (Мп-Мк), фіксацію геометричної форщодо точності відпрацювання групи мартенситних ми, нагрів до 350-600°С на протязі 0,25-15,0хв., перетворень у виготовленому елементі. перед гартуванням сплаву надають рідкого стану Виконання наповнювача у вигляді легко напри температурі Трс=(1,1-1,3)Тпл., методом вакупресованої у заданих напрямках дрібнодисперсної умного всмоктування рідким сплавом просочують солі, наприклад - КСl, класифікованої за розміром градієнтний наповнювач, виконаний у вигляді наїї часток в межах Dn=0,01...3,300мм, поверхня яких пресованих у заданих напрямках ділянок дрібнопопередньо металізована заданими за масою (mn) дисперсної солі, наприклад - КСl, класифікованої прошарками одним із вихідних хімічних елементів за розміром її часток в межах Dn=0,01...3,00мм, (Хmn) вказаного сплаву в межах mn=0,01...2,50% поверхня яких попередньо металізована заданими від загальної маси сплаву, забезпечує формуванза масою (mn) прошарками одним із вихідних хіміня відповідної пористої структури в заготовці за чних елементів (Хmn) вказаного сплаву в межах каліброваним розміром пор з відповідним хімічним mn=0,01...2,50% від загальної маси сплаву, розчискладом кожної ділянки заготовки, завдяки специняють металізовані прошарки при температурі фічній формі легування базового сплаву металізоТрп=(1,2-1,3)Тпл., направлено кристалізують утвованими прошарками хімічного елементу (або елерені ділянки сплаву із сформованими інтервалами ментами) часток, споріднених до хімічного складу критичних температур мартенситного перетворенсплаву, що містяться на поверхні кожної частки, ня (ДМП): Мп1-Мк1, Ап1-Ак1; Мп2-Мк2, Ап2-Ак2;... виконуючих функцію легуючих носіїв сплаву. ПриМпn-Мкn, Апn-Акn, (де n - порядковий номер кожної чому в обумовлених межах розміру часток по фрасформованої ділянки сплаву за технологічним алкціям в межах Dn=0,01...3,00мм і відповідною їх горитмом: Мп1-Мк1, Ап1-Ак1 < Мп2-Мк2, Ап2-Ак2; 0,95Тпл. знижує основні фізичні властивості тях окремої ділянки, так і у всіх ділянках заготовки. виготовленого елемента. Виконання наповнювача класифікованого за розПроведення нормалізованого відпуску заготоміром його часток в межах Dn3,00мм і вище механічний стан заготовки з наповнювачем перед відбувається різке зниження зворотної деформації механічною обробкою заготовки. Проведення нормалізованого відпуску заготовки, після зазначезв виготовленого елемента та зниження механого гартування, при температурі Тнв2,50% і більше, від загальної руйнівних напруг в умовах підвищеної пластичносмаси сплаву, викликає різку зміну градієнтного ті відповідних ділянок заготовки у мартенситному стану заготовки в цілому, що супроводжується стані ( '-фаза). Формування робочої поверхні (Рп) утворенням нечутливих до зміни температури зон при температурах Трп