Патенти з міткою «аморфно-кристалічного»
Спосіб отримання плівок аморфно-кристалічного нанокомпозиту на основі кремнію для сонячних елементів
Номер патенту: 85049
Опубліковано: 11.11.2013
Автори: Носенко Віктор Костянтинович, Порошин Володимир Миколайович, Кабалдін Олександр Миколайович, Новіков Євген Іванович, Ларкін Сергій Юрійович, Неймаш Володимир Борисович
МПК: H01L 21/00, H01L 31/00, C23C 16/00 ...
Мітки: елементів, кремнію, нанокомпозиту, аморфно-кристалічного, спосіб, отримання, плівок, сонячних, основі
Формула / Реферат:
Спосіб отримання плівок аморфно-кристалічного нанокомпозиту на основі кремнію для сонячних елементів, що включає осадження кремнію із газової фази на гнучкі не тугоплавкі підкладки, який відрізняється тим, що плівки кремнію легують високочистими домішками олова та вуглецю у певних вагових пропорціях при виготовленні порошкової суміші, яку переводять у газову фазу термічним випаровуванням у вакуумі.