Патенти з міткою «cdhgte»
Спосіб просвітлення фотоприймача іч-випромінювання на основі cdhgte
Номер патенту: 94605
Опубліковано: 25.11.2014
Автори: Савкіна Рада Костянтинівна, Клюй Микола Іванович, Ганус Валерій Олександрович, Смірнов Олексій Борисович, Сизов Федір Федорович
МПК: G02B 5/22, H01L 31/0296
Мітки: cdhgte, основі, спосіб, фотоприймача, просвітлення, іч-випромінювання
Формула / Реферат:
Спосіб просвітлення фотоприймача ІЧ-випромінювання на основі CdHgTe (KPT), який включає попередню обробку поверхні пластини монокристалу КРТ в плазмі аргону протягом 5-5,5 хв. з тиском у робочій камері 25 Па та наступне осадження першого шару алмазоподібних вуглецевих плівок (АВП) a-C:H:N як просвітлюючого покриття з суміші плазми газів аргону, метану, водню та азоту в співвідношенні Ar:CH4:H2:N2=1:3:5:9 при потужності високочастотного...