Патенти з міткою «фотоприймача»
Спосіб просвітлення фотоприймача іч-випромінювання на основі cdhgte
Номер патенту: 94605
Опубліковано: 25.11.2014
Автори: Смірнов Олексій Борисович, Сизов Федір Федорович, Клюй Микола Іванович, Савкіна Рада Костянтинівна, Ганус Валерій Олександрович
МПК: H01L 31/0296, G02B 5/22
Мітки: основі, фотоприймача, спосіб, cdhgte, іч-випромінювання, просвітлення
Формула / Реферат:
Спосіб просвітлення фотоприймача ІЧ-випромінювання на основі CdHgTe (KPT), який включає попередню обробку поверхні пластини монокристалу КРТ в плазмі аргону протягом 5-5,5 хв. з тиском у робочій камері 25 Па та наступне осадження першого шару алмазоподібних вуглецевих плівок (АВП) a-C:H:N як просвітлюючого покриття з суміші плазми газів аргону, метану, водню та азоту в співвідношенні Ar:CH4:H2:N2=1:3:5:9 при потужності високочастотного...