Патенти з міткою «деградаційної»
Спосіб покращення пропускання іч-світла та деградаційної стійкості оптичного елемента на основі gaas
Номер патенту: 97876
Опубліковано: 10.04.2015
Автори: Неймаш Володимир Борисович, Оксанич Анатолій Петрович, Лозінський Володимир Борисович, Ліптуга Анатолій Іванович, Клюй Микола Іванович, Притчин Сергій Емілійович, Кабалдін Олександр Миколайович
МПК: C23C 16/02, C23C 16/26
Мітки: пропускання, деградаційної, покращення, стійкості, основі, оптичного, іч-світла, елемента, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб покращення пропускання ІЧ-світла оптичним елементом на основі GaAs та покращення його деградаційної стійкості, який включає різання високоомного кристала напівізолюючого GaAs на пластини, шліфовку, поліровку пластин, попередню обробку в плазмі Ar+ та осадження на їх поверхню просвітлюючої алмазоподібної вуглецевої плівки в плазмі СНЦ, який відрізняється тим, що попередню плазмову обробку пластини напівізолюючого GaAs перед осадженням...