Лозінський Володимир Борисович
Спосіб покращення пропускання іч-світла та деградаційної стійкості оптичного елемента на основі gaas
Номер патенту: 97876
Опубліковано: 10.04.2015
Автори: Лозінський Володимир Борисович, Ліптуга Анатолій Іванович, Клюй Микола Іванович, Неймаш Володимир Борисович, Кабалдін Олександр Миколайович, Притчин Сергій Емілійович, Оксанич Анатолій Петрович
МПК: C23C 16/26, C23C 16/02
Мітки: оптичного, покращення, основі, іч-світла, спосіб, пропускання, стійкості, деградаційної, елемента
Формула / Реферат:
Спосіб покращення пропускання ІЧ-світла оптичним елементом на основі GaAs та покращення його деградаційної стійкості, який включає різання високоомного кристала напівізолюючого GaAs на пластини, шліфовку, поліровку пластин, попередню обробку в плазмі Ar+ та осадження на їх поверхню просвітлюючої алмазоподібної вуглецевої плівки в плазмі СНЦ, який відрізняється тим, що попередню плазмову обробку пластини напівізолюючого GaAs перед осадженням...