Патенти з міткою «іч-світла»
Спосіб покращення пропускання іч-світла та деградаційної стійкості оптичного елемента на основі gaas
Номер патенту: 97876
Опубліковано: 10.04.2015
Автори: Притчин Сергій Емілійович, Лозінський Володимир Борисович, Кабалдін Олександр Миколайович, Оксанич Анатолій Петрович, Ліптуга Анатолій Іванович, Клюй Микола Іванович, Неймаш Володимир Борисович
МПК: C23C 16/02, C23C 16/26
Мітки: оптичного, деградаційної, стійкості, елемента, покращення, основі, іч-світла, спосіб, пропускання
Формула / Реферат:
Спосіб покращення пропускання ІЧ-світла оптичним елементом на основі GaAs та покращення його деградаційної стійкості, який включає різання високоомного кристала напівізолюючого GaAs на пластини, шліфовку, поліровку пластин, попередню обробку в плазмі Ar+ та осадження на їх поверхню просвітлюючої алмазоподібної вуглецевої плівки в плазмі СНЦ, який відрізняється тим, що попередню плазмову обробку пластини напівізолюючого GaAs перед осадженням...