Патенти з міткою «фоторезистор»
Планарний фоторезистор та спосіб його виготовлення
Номер патенту: 56764
Опубліковано: 15.05.2003
Автори: Свєчніков Сергій Васильович, Горбач Тамара Яківна, Смертенко Петро Семенович
МПК: H01L 21/302, H01L 31/08
Мітки: виготовлення, планарний, фоторезистор, спосіб
Формула / Реферат:
1. Планарний фоторезистор, що містить напівпровідникову підкладку, поверхня якої виконана з рельєфом, який відрізняється тим, що фронтальна і тильна поверхні підкладки із напівізолюючого GaAs містять нестехіометричний вакансійно-галієвий шар скелетно-дендритної морфології товщиною не менше значення довжини хвилі випромінювання верхньої межі спектрального діапазону і шар оксиду арсенолітової фази.2. Спосіб виготовлення планарного...