Патенти з міткою «фоторезистор»

Планарний фоторезистор та спосіб його виготовлення

Завантаження...

Номер патенту: 56764

Опубліковано: 15.05.2003

Автори: Свєчніков Сергій Васильович, Горбач Тамара Яківна, Смертенко Петро Семенович

МПК: H01L 21/302, H01L 31/08

Мітки: виготовлення, планарний, фоторезистор, спосіб

Формула / Реферат:

1. Планарний фоторезистор, що містить напівпровідникову підкладку, поверхня якої виконана з рельєфом, який відрізняється тим, що фронтальна і тильна поверхні підкладки із напівізолюючого GaAs містять нестехіометричний вакансійно-галієвий шар скелетно-дендритної морфології товщиною не менше значення довжини хвилі випромінювання верхньої межі спектрального діапазону і шар оксиду арсенолітової фази.2. Спосіб виготовлення планарного...