Патенти з міткою «іонно-плазмовий»
Іонно-плазмовий пристрій інтегрованого типу для обробки внутрішніх поверхонь
Номер патенту: 89038
Опубліковано: 10.04.2014
Автор: Гришкевич Олександр Дмитрович
МПК: C23C 14/00
Мітки: внутрішніх, типу, пристрій, інтегрованого, іонно-плазмовий, поверхонь, обробки
Формула / Реферат:
Іонно-плазмовий пристрій інтегрованого типу для обробки внутрішніх поверхонь, що містить два плазмових пристрої магнетронного типу з відповідними системами електричного живлення, які монтуються у внутрішній порожнині оброблювального виробу співвісно з ним, катоди магнетронних пристроїв мають конічну форму із зустрічною орієнтацією конусних вершин, між якими на осі системи змонтовано спільний дисковий анод, а внутрішні магнітні полюси...
Іонно-плазмовий пристрій “гібридного” типу
Номер патенту: 93833
Опубліковано: 10.03.2011
Автор: Гришкевич Олександр Дмитрович
МПК: C23C 14/56, C23C 14/35
Мітки: типу, пристрій, іонно-плазмовий, гібридного
Формула / Реферат:
Іонно-плазмовий пристрій для нанесення біметалевого покриття на внутрішню поверхню феромагнітної труби, який складається з торцевого вакуумно-дугового випарювача і планарного магнетронного розпилювача з відповідними струмовідводами, газовими трубками, системами електричного живлення, керування і охолодження, який відрізняється тим, що застосовано магнетронний розпилювач радіального типу з конічним катодом, що вершиною обернений до...