Патенти з міткою «кремнієосаджувальному»
Пристрій та спосіб вимірювання показника зростання товщини кремнієвих стрижнів у кремнієосаджувальному реакторі
Номер патенту: 100089
Опубліковано: 12.11.2012
Автори: Вольмар Вілфрід, Стубхан Франк
МПК: C01B 33/035, G01B 11/06, G01B 11/08 ...
Мітки: зростання, кремнієосаджувальному, стрижнів, товщини, пристрій, вимірювання, кремнієвих, реакторі, спосіб, показника
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вимірювання показника зростання товщини кремнієвих стрижнів в кремнієосаджувальному реакторі на підставі показників пристрою для вимірювання температури, який відрізняється тим, що як пристрій для вимірювання температури використано безконтактний пристрій для вимірювання температури (4), який виконаний з можливістю обертання вздовж осі обертання (5) за допомогою обертаючого приводу (9), при цьому вісь обертання (5) розташована...